ISOTS3567真空计——与标准真空计直接比对的校准讲课.docx

Contents内容 Foreword前言 Introduction简介 1 scope范围 2 normative reference规范性参考 3 terms and definitions术语及定义 4 symbols and abbreviated terms符号和缩写词 5 general principle一般原则 6 requirements要求 6.1 design of calibration chamber校准室设计 6.2 plumbing of gauges to calibration chamber管道测量仪校准室 6.3 Vacuum and gas inlet system真空和气体入口系统 6.4 calibration gas校准气体 6.5 thermometers and ambient conditions温度计和环境条件 6.6 reference gauge参考规范 7 calibration校准 7.1 procedure程序 7.2 evaluation of measurements测量评价 7.3 measurement uncertainty测量不确定度 8 calibration certificate校准证书 Annex A (informative)Example of possible calibration sysytem set-up 附录A 校准系统设置举例 Annex B(informative)Problems in practice 附录B 实际中遇到的问题 B.1 zero settings 零点设置 B.2 calibration gas purity 校准气体纯度 B.3 target pressure points目标压力点 B.4 repeat measurements重复测量 B.5 achieving a low base pressure低压力实现 B.6 contamination污染 B.7 temperature effects温度影响 B.8 vibrational effects振动影响 B.9 gauge handling and mutual interferences表处理和相互干扰 B.10 reference gauges参考表格 B.11 recalibration cycles校准周期 Bibliography参考书目 7.2测量评价 From the measurement records，the following shall be generated for each calibration pressure list： 从测量记录中，每一次校准压力表将产生以下的下列情况： -件 ； ——indicated UUC readings （and possibly mean values from repeat measurements）corrected by zero reading，etc； ——校准压力为参照规范读数的平均校正根据校准证书和根据其他必要的修正，在校准过程中的条件； -件 ； ——indicated UUC readings （and possibly mean values from repeat measurements）corrected by zero reading，etc； ——表明UUC读数（可能是重复测量值）的零读数校正，等； —等 ； ——quantity to be determined by the calibration（e.g. error of reading，correction factor，sensitivity coefficient for example，in volts/pascals，etc.） ——数量由校准测定（如读数误差，校正因子，例如，灵敏度系数伏特/帕斯卡，等） —等 ） ——the uncertainty of the measurand at the time of calibration determined according to 7.3 ——被测量的不确定性在时间校准按7.3???定 Sometimes，a single measurand as a mean over a mean over a larger pressure range can be determined（e.g. effective accommodation coefficient of a spinning rotor gauge，ion gauge constant，ion gauge sensitivity。） 有时，一个单一的测