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4.3 压电效应及压电式传感器 主要内容 压电效应的概念 压电传感器及其等效电路 4.3.1 压电效应的概念 某些 - 晶体材料 沿着某一方向施加外力而使之变形时 - 内部会产生电荷 外力去掉之后,电荷也随之消失 - 这种现象称正压电效应 晶体施加外电场时,晶体本身产生机械变形 - 这种现象称逆压电效应 压电传感器 - 利用压电材料的正压电效应工作 常用 - 压电材料 天然压电材料石英晶体 人工合成的压电陶瓷 压电膜 石英晶体内部 - 存在 3 种正压电效应 纵向压电效应 横向压电效应 切向压电效应 几种压电效应的示意图(图 21) (1) 纵向压电效应 晶体材料受到沿 方向施加的压力时,晶体发生厚度变化而产生极化现象 - 称纵向压电效应 垂直于 轴平面 - 产生的电荷 - 纵向压电系数 - 沿 轴方向施加的外力 由式 - 纵向压电效应使晶面产生的电荷量和外力成正比而与晶片几何尺寸无关 2)横向压电效应 晶体受到沿 方向施加的压力时,电荷仍在垂直于 轴的平面上出现 - 称横向压电效应 产生的电荷 - 横向压电系数 - 沿 轴方向施加的外力 - 分别为晶片沿 和 方向的尺寸 式 中 负号 - 表示 产生的电荷与 产生的电荷极性相反 电荷量 与 的大小有关 也与晶片的几何尺寸有关 (3)切向压电效应 沿晶片相对两平面施加外力时 - 晶体表面便产生电荷 这种现象 - 称切向压电效应 4.3.2 压电传感器及其等效电路 1.压电传感器的等效电路 压电晶体膜片及等效电路(图 22) 晶片 - 受到外力作用时 两个极板上积聚 - 数量相等、极性相反的电荷 形成 - 电场 压电传感器 可看作 - 一个电荷发生器 也是 - 一只平行极板介质电容器 电容 - 压电材料的介电常数 - 极板间距,即晶片的厚度 - 压电晶片工作面的面积 2.压电式传感器的应用 (1)压电式加速度传感器 常用的压电式加速度传感器的结构形式(图 23) 图 a - 外缘固定型 压紧块 - 与壳体相连 使壳体 - 成为“弹簧-质量”系统的一部分 外界的温度、噪声和试件的变形 - 引起壳体的变形等 将会形成干扰 - 影响输出信号 图 b - 中间固定型 压电元件、质量块和压紧块一起 - 被固定在一个中心轴上 外壳 - 只是起防护和屏蔽作用 此结构 - 可以克服外界温度和噪声的干扰 但若基座的刚度不够大时 - 试件变形对输出仍会有影响 图 c - 倒置式中间固定型 与图 b 不同之处 - 中心轴部与基座相连 可以避免 - 基座变形影响 上盖与之相接的薄壁 - 形成“弹簧”一部分 共振频率 - 会有所降低 图 d - 剪切结构型 压电元件为圆筒状 - 粘接在中心轴上 外圆 - 粘接于质量块 加速度传感器 - 沿轴线振动时 压电元件受到剪切力而变形 - 从而输出电荷 此结构 - 可排除外界温度和噪声的干扰 又可避免 - 基座变形的影响 (2)压电式力传感器 通常使用的压电式力传感器 - 荷重垫圈式 压电式力传感器 - 组成 基座 盖板 石英晶片 绝缘套 信号引出插座 单向压电力传感器(图 24) 4.4 电磁效应及磁电式传感器 磁电式传感器 又称感应式传感器或电动式传感器 利用 - 电磁感应原理 被测机械量 - 转换成线圈中的感应电动势输出 4.4.1 基本工作原理和结构 一个匝数为 W 的线圈 - 穿过该线圈的磁通发生变化时 感应电动势 线圈感应电动势的大小 取决于 - 线圈匝数和穿过线圈的磁通变化率 磁通变化率 - 与磁场强度、磁路磁阻、线圈与磁场的相对运动速度有关 磁电式传感器 - 只适用于动态测量 磁电式传感器 - 可分(结构方式不同) 变磁通式 恒磁通式 1.变磁通式 变磁通式磁电传感器原理(图 25) 变磁通式磁电传感器原理 可动铁心转动时 - 磁路的磁阻发生周期性变化 变化频率 - 可动铁心转速 的 2 倍( ) 磁路的磁通 - 以同样的频率 变化 因线圈中输出感应电动势,其频率 - 等于磁通的频率 可通过测量感应电动势的频率 - 进行转速测量 2.恒磁通式 恒磁通动圈式磁电传感器原理(图 26) (a)图 - 线速度型传感器的工作原理 永久磁铁产生的直流磁场内 - 放置一个可动线圈 线圈在磁场中作直线运动时 - 产生的感应电动势 - 磁场的
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