《感测》第四章电容传感器研究.pptVIP

电容式水箱水位显示器 实际特性与理论特性（与端基直线）之间的非线性误差绝对值为： 非线性误差随着d0的减小而增大 为了保证一定的线性度，应限制动极板的位移量。通常规定测量范围 △X d0，此时，传感器的灵敏度近似为常数 在实际应用中, 为了提高灵敏度、减小非线性误差, 大都采用差动式结构 四、差动电容传感器 为了提高线性度或灵敏度，实际中常采用差动电容传感器 变间隙型 变面积型 1．变d 型 图中，上下两电极板位置固定，中间电极板可沿X 方向上下移动 初态：中间极板居中，d1=d2=d，此时电容C1=C2=C0=εS/d ，取差动输出 ΔC =C1-C2=0 。 当中间极板移动量为ΔX 时，取差动输出 灵敏度提高一倍 输出线性好 2．变S 型 图4－5（b）是变极间有效面积型差动电容传感器。上下两圆筒电极固定，中间圆筒电极可沿X 方向移动；当中间圆筒电极上下移动时，上下电容器极板的有效面积S1和S2作反向变化，于是电容C1和C2一增一减，构成差动工作方式。 设初态时中间圆筒电极居中，即h1=h2=h ， C1=C2=C0= ，取差动输出 ΔC = C1 - C2 = 0 当中间圆筒移动量为ΔX 时，取差动输出 变S型差动电容传感器具有较高的灵敏度和较好的线性度 第二节 电容传感器测量电路 一、测量电桥 单臂桥、差动桥、紧耦合桥 1. 单臂桥 C1、C2、C3为固定标准电容，CX为传感器电容 2．差动桥 C1和C2为传感器电容 （1）初态：两传感器电容C1=C2=C ，此时电桥空载 输出 （2）工作时：若C1=C±ΔC ， 则C2=C ΔC ，此时电桥空载输出 即工作时传感器两电容值发生等值反向变化， 电桥失去平衡；且电容变化量ΔC 越大，不 平衡电桥输出电压Uo也越大，两者亦呈线性 关系。 3．紧耦合桥 C1和C2为差动电容传感器两电容 L0为两紧耦合线圈的自感，其互感为M （1）初态时：C1=C2=C 输出电压Uo=0 （2）工作时：C1≠C2 Z1=Z±ΔZ ，Z2=Z ΔZ （3）测量桥的灵敏度KB 当ω2L0C＞＞1时， 曲线1：完全不耦合 灵敏度 ， 谐振点在 处 即 时，输出Uo急 剧增加，灵敏度KB＞100。 在谐振点的两侧，灵敏度 KB急剧下降，且不稳定。 曲线2：紧耦合 谐振点在ω2L0C =0.5处 当ω2L0C＞1时，KB趋于2， 在很宽的频域内保持稳定 因而，对于紧耦合测量电 桥，只要适当地选择L0、 C 和ω，使得灵敏度KB=2， 此时测量电桥输出电压 U0=2ΔCU/C 为线性输出 状态 二、差动脉冲调宽电路 Uf为参考电压 R1=R2=R 书上错误的电路 0 0 不定 0 1 置1 1 0 清0 1 1 保持 设初态为AB=10 1 0 则： C1充电，C2放电。M电位升高，N电位降低 当UMUf时，UNUf A1输出0，A2输出1 0 1 触发器翻转，AB=01 0 1 1、初态 1 0 AB=01时 C1放电，C2充电；M电位降低，N电位升高 当UNUf 时，UMUf A1输出1，A2输出0 触发器翻转，AB=10 在一个周期内，Uo的平均值为0 若C1=C2=C，则充、放电时间各自 相等，即T1=T2 三要素法： 2、工作态 传感电容C1≠C2，两者的充电时间不相等，即T1≠T2 若C1增加，则C2减小，此时，T1T2； 反之，C1减小，则C2增加，T1T2 C1增加，C2减小的波形如左图 （1）变d 型 对于变d 型差动电容传感