4.1电容式传感器研究.ppt

第四章电容式传感器 4.1 工作原理与类型 4.2 转换电路 4.3 性能、特点及设计要点 4.4电容传感器应用 4.5 电容式集成传感器 第一节 工作原理和类型 定义：将被测非电量的变化转换为电容量变化的传感器。 应用：位移、加速度、液位、振动及湿度。 第三节 主要性能、特点和设计要点 一、主要性能 （一）静态灵敏度 变极距型电容传感器 第四节 电容式传感器的应用 电容传感器可以直接测量的非电量为，直线位移、角位移及介质的几何尺寸(或称物位)，直线位移及角位移可以是静态的，也可以是动态的。 用来测量金属表面状况、距离尺寸、振幅等量的传感器，往往来用单极式变间隙电容传感器，使用时常将被测物作为传感器的一个极板，而另一个电极板在传感器内。 二、电容式加速度传感器 1、结构 质量块两个经过磨平抛光的平面与两个固定极板构成差动电容传感器。 第五节 电容式集成传感器 运用集成电路工艺把电容敏感元件与测量电路制作在一起，构成电容式集成传感器。核心部件是一个对被测量敏感的集成电容器。 第六节 容栅式传感器 容栅式传感器是在变面积型电容传感器的基础上发展成的一种新型传感器。 将电容传感器中的电容极板刻成一定形状和尺寸的栅片，再配以相应的测量电路就构成了容栅测量系统，适宜进行大位移测量。 将差动电容器接于桥式电路 四、 差动式电容测厚传感器 1、结构 传感器上下两个极板与金属板上下表面间构成电容传感器。 2、原理 将被测电容C1、C2作为各变换振荡器的回路电容, 振荡器的其它参数为固定值, C0为耦合和寄生电容, 振荡频率分别为 调频式差动电容式测厚传感器原理图 f1,f2送计数器8253的计数口，单片机定时1秒取8253计数器中的计数值。即为f1,f2。 由公式计算得dx1， dx2。 输出电压的推导 式中: U1——触发器输出高电平; T1、T2——C1、C2充放电至Ur所需时间。 （1） C1充电时，由零状态响应 将T1 、 T2代入式（1）, 并设 得 变间隙传感器 把平行板电容的公式代入式 得 当差动电容C1 = C2 = C0, 即 时, = 0; 若C1≠ C2, 设C1 C2, 则 对变面积电容传感器 当差动电容C1 = C2 = C0时： 结论：由此可见, 差动脉宽调制电路能适用于变极板距离以及变面积式差动式电容传感器, 并具有线性特性, 且转换效率高, 经过低通放大器就有较大的直流输出, 且调宽频率的变化对输出没有影响。 五、 运算放大器式电路 将电容传感器接于放大器反馈回路，输入电路接固定电容。构成反相放大器。能克服变极距型电容式传感器的非线性。 则 代入上式得 式中“—”号表示输出电压与电源电压相反。 如果传感器是一只平板电容 运算放大器电路解决了单个变极板间距离式电容传感器的非线性问题。为保证仪器精度, 还要求电源电压 的幅值和固定电容C值稳定。 由 得 由于 将上式展成泰勒级数得 圆柱型变面积电容传感器 由 得 差动变面积电容传感器 结论：差动式比单组式的灵敏度提高一倍 （二）非线性 变极距型 因 采用差动形式得： 结论：变面积和变介质型电容传感器比变极距型电容传感器的线性度好 求差动形平板电容器的非线性误差 在差动式平板电容器中, 当动极板位移Δd时, 电容器C1的间隙d1变为d0-Δd, 电容器C2的间隙d2变为d0+Δd, 则 在Δd/d0《1时, 则按级数展开: 电容值总的变化量为 ΔC= C1-C2=C0 电容值相对变化量为 如果只考虑式中的线性项和三次项, 则电容式传感器的相对非线性误差δ近似为 对于单组式变极距型平板电容传感器 电容的相对变化量为 当 时，则上式可按级数展开，故得 如果考虑式中的线性项与二次项,由此可得出传感器的相对非线性误差δ为 可见, 电容传感器做成差动式之后,而且非线性误差大大降低了。 主要特点及设计要点 一、特点 优点： 1、温度稳定性好 电容值与电极材料无关，自身发热极小。 2、结构简单，适应性强 能在较恶劣的环境下可靠工作。 3、动态响应好 极板质量小且静态引力极小适合动态测量。 4、可实现非接触测量 在测量物料料位、物体振动振幅等时，电容器极板与被测体表面构成电容器，实现非接触测量。 缺点： 1、输出阻抗高，带负载能力差 电容器电容值小，在频率较低时