第十三章纳米测量技术解答.pptVIP

测量方式二： 对于起伏不大的样品表面，可以控制针尖高度 守恒扫描，通过记录隧道电流的变化亦可得到表面 态密度的分布，见图13-2(b)。 这种扫描方式的特点是扫描速度快，能够减小噪 音和热漂移对信号的影响，但一般不能用于观察表 面起伏大于1nm的样品。 当控针接近样品凸起部位表面时，由于样品对悬 臂探针产生吸附力， 因而使悬臂梁的力弹性常数明显 软化， 结果引起固有频率减小，其振幅减小； 反之如扫描经过凹陷部位时，其振幅增大，通过测 量悬臂梁振动的振幅、相位或频率的改变可以测量固 有频率的变化。 图中反馈控制根据探针针尖的振动情况的变化而 改变加在垂直Z向压电晶体上的电压，从而使振幅保 持恒定，用驱动电压变化来表征被测表面态的信息。 由于某针尖距样品较远，因此其图像横向分辨率降低 ，一般为纳米级。非接触模式AFM 用于生物样品方 面，可避免划伤样品。 13.3.3 结构 玻璃衬底上VO2薄膜的三维AFM图 在该模式下，扫描成像时针尖对样品进“敲击”，两者 间只有瞬间接触，克服了传统接触模式下因针尖被拖过样品 而受到摩擦力、粘附力、静电力等的影响，并有效地克服了 扫描过程中针尖划伤样品的缺点，适合于柔软或吸附样品的 检测，特别适合检测生物样品。 3.非接触模式AFM 长程力作用范围较 大,从零点几纳米到几 百纳米。因此把在这种 方式下的AFM称为非接 触模式AFM（Noncontact Mode AFM）。 AFM的探针与样品 不接触，它们之间存在 吸引力。 将悬臂梁在接 近其固有频率处激振。 13-3-2 微悬臂形变检测方法 AFM微悬臂形变检测方法主要有隧道电流法、电容 检测法、光学检测法(包括反射法和干涉法等)，其中隧 道电流法和光学反射法最常用。 1.隧道电流法 图13-3 隧道电流法是原子力显微镜与扫描隧道显微镜的 结合，图13—3是其工作原理示意图。 扫描隧道显微镜要求样品是导体或半导体，为了 突破STM的这一局限性，可采用AFM针尖与样品接 触的方式测量样品的表面形貌，而用STM检测AFM 微悬臂的变形，即通过测量微悬臂背面与扫描隧道显 微镜的针尖之间的隧道电流变化来检测微悬臂的弯曲 。这种方式要求微悬臂背面具有一定的导电性。 2.光学反射法 目前商品化的AFM普遍采用激光反射检测法，如图13-4所 示。微悬臂的尖端是一个探针，背面是光滑的反射镜面。由 半导体激光器发出的一束激光经过光学透镜的准直和聚焦， 悬臂背面的反射镜上，经反射镜反射后照射到一个二象限位 置敏感器(或四象限光敏探测器)上。 图13-4 当探针在样品表面扫描时，由于样品表面起伏不平而使微悬臂发生弯曲变形，而微悬臂的弯曲又使得光路发生变化，最终导致照射到光敏探测器上的激光光斑位置发生移动。光敏探测器将光斑位移信号转换成电信号，经放大处理后即可得到表面的原子力扫描像。 激光反射法原理图 PSD上光斑位移计算 习题：激光反射法原理图中d≈0.5mm, l=100mm,求位移放大率。 则位移放大倍率： （因为 比 大很多） 3 微悬臂形变检测方法总结 (1)隧道电流法 为早期AFM用的方法。把AFM悬臂梁的弯曲变化 用STM测量隧道电流来测出表面形态。因此要求AFM 悬臂梁背面是金属面。表面粗糙度影响AFM图像质量。 由于STM灵敏度很高，因此检测变形可达 10-3nm的垂 直分辨率。 (2)电容法 该方法是以悬臂梁为一电极与另一电极构成电容，悬 臂梁受力产生的形变将改变电极间距，从而电容值发生 变化，控制扫描时电容值恒定可测出表面态信息。该方 法对针尖与样品的间距无特殊要求，也可达到纳米级分 辨率。 （3）光反射法 可达到原子级分辨率，纵向分辨率可达到0.01nm。 该方法简单，但要求悬臂梁背面有光滑反射表面和足够的 反射率，当用比较透明的材料制作悬臂梁时，往往在悬臂 梁背面沉积金属层以提高反射率。是目前商品AFM中用的 最广泛的一种方法。 本实验所用仪器为激光反射法，故本文主要介绍激光反射法。 利用光束对其光程或方向的敏感性，通过测量激光束在微悬臂背面的反射来测量微悬臂的弯曲形变；一束激光经微悬臂背部反射到一个位置灵敏探测器（PSD）上，当微悬臂弯曲时激光束在探测器上的位置将发生移动，PSD 本身可测量光点小至1nm的位移，微悬臂位移的放大倍数为悬臂至探测器的距离与悬臂长度之比。通常这一比例可以做得很大，使得系统可以探测针尖在垂直方向上小于 0.1nm的位移。可达到原子级分辨