第四章固体表面解答.ppt

材料的表面与界面 1. 固体表面的特点 金属表面的实际构成示意图 1.典型表面的结构组成 表面的组成与材料所处的状态有密切关系 1 变形层又称应变层或加工硬化层，它是材料表面区域的重要组成部分。摩擦过程也会形成变形层。 （2）贝氏层 贝氏层是加工过程中表面分子产生溶解和表面产生流动之后淬火硬化而沉积的表层，它属于非晶或微晶结构。 机械零件的表面形貌直接影响其磨损、疲劳与腐蚀，以及接触刚度和传热性能，影响界面间的导电性能与密封性能。 磨具的表面形貌影响它的磨削性能； 喷涂表面预处理后的形貌影响表面涂层 如油漆 的质量与外观； 飞机跑道的表面形貌影响飞机起降的平稳性与飞机机件的寿命； 公路路面的表面形貌影响汽车行驶的平稳性与汽车的寿命； 海洋表面的形貌直接同船舶航行有关，而电子的发射、电磁波的反射也同器件的表面形貌有密切的关系。 所以，表面形貌越来越为工程技术界所重视。 表面形貌 形状误差：实际表面形状与理想表面形状的宏观偏差 波纹度：表面周期性重复出现的几何形状误差 表面粗糙度：表面微观几何形状误差 波纹度和粗糙度的主要区别是波长不同 4.3.1 表面粗糙度国家标准 4.3.1.1 基本术语 1.实际轮廓（表面轮廓） 实际轮廓是指平面与实际表面相交所得的轮廓线。 一、固体的表面形貌一维表征 宏观和微观粗糙度 1、表面轮廓高度方向一维表征 （2）轮廓均方根偏差（Rq，简称RMS,Root mean square） （3）微观不平度十点平均高度（Rz） （4）轮廓最大高度（Ry） Ra值相同的轮廓 2、表面轮廓水平方向的表征 （2）轮廓微观不平度的平均间距Sm 二、固体表面形貌的二维表征 （3）摩擦面、承受高压和交变载荷的工作面的粗糙度数值应小一些。 （4）尺寸精度和形状精度要求高的表面，粗糙度数值应小一些。 （5）要求耐腐蚀的零件表面，粗糙度数值应小一些。 （6）有关标准已对表面粗糙度要求作出规定的，应按相应标准确定表面粗糙度数值。 4.3.3.3 表面粗糙度的标注 4.3.4 表面粗糙度的测量 一、8”测试片测试方法 采用Agilent 5600LS AFM测试MIT/SEMATECH 854上测试点。 选取定位点所在半径上的5个测试单元（一条半径上共5个测试单元），命名方法由圆心向外边依次命名为point1、point2、 point3、 point4、point5 。 Blanket 结构图 854测试单元结构符号说明 854测试结构单元命名 854测试单元示意图 1.Roughness典型测试结果 Roughness选取命名为D2M2的测试单元（线宽50微米、间隔50微米）上的copper和dielectric layer，测试面积10X10微米，由圆心沿半径共取5组。 典型结果： 典型结果： dielectric layer roughness 2.Dishing典型测试结果 Dishing选取D2M2单元，测试面积100X100微米。由圆心沿半径共取5组。 典型结果： Point2 Dishing 3.Erosion典型测试结果 Erosion选取AHAG单元，测试面积100X100微米。由圆心沿半径共取5组。 典型结果：5nm point1 Erosion典型测试结果 Erosion选取AHAG单元，测试面积100X100微米。由圆心沿半径共取5组。 典型结果：10nm point2 Erosion典型测试结果 Erosion选取AHAG单元，测试面积100X100微米。由圆心沿半径共取5组。 典型结果：7.5nm point3 Erosion典型测试结果 Erosion选取AHAG单元，测试面积100X100微米。由圆心沿半径共取5组。 典型结果：5nm point4 Erosion典型测试结果 Erosion选取AHAG单元，测试面积100X100微米。由圆心沿半径共取5组。 典型结果：7.5nm point5 二、12”pattern测试片测试方法 1. 采用SMIC 65nm pattern测试片 该片为双层结构。单元结构图如下： SMIC 65nm pattern测试片结构 该片为双层结构。使用Agilent 5600LS AFM测试如图所示的PAD区域。由圆心沿半径测试5个单元（共5个）。 SMIC 65nm pattern测试片PAD说明 PAD1和PAD2分别测试M2和M1CMP后erosion ，用于监测小线条Cu的厚度。 PAD4至PAD8是dishing PAD，用于监测大块面积Cu的厚度。其中PAD4测试 M1的dishing 而PAD5测试M2的dishing。 单元结构图如下： 1.Dishing典型测试结果 Dishing选取M2的PA