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4.7 电容式传感器 ; 2.工作原理 电容式传感器实质上是一个可变参数的电容器。由物理学可知,用绝缘介质分开的两个平行金属板组成的平板电容器,当忽略边缘效应时,电容量可表示为式中:ε、ε0——极板间介质和真空的介电常数(ε0=8.85×10-12 F/m); εr——极板间介质的相对介电常数,对于空气介质εr≈1; A——极板相互覆盖的面积; δ——极板间的距离。;图 (a)和(b)为变极距式; 图 (c)~(h)为变面积式; 图 (i)~(l)则为变介电常数式。;一、间隙变化型 ; 当Δδ为小值时,在ΔC/C与Δδ/δ之间可近似为一线性关系。如当Δδ/δ =0.1时,按(4.39)式计算所得的线性偏差为10%,而当Δδ/δ =0.01时,该偏差降至1%,因此对小的间隙变化,式(4.39)可进一步舍去二次项,从而可得电容变化量
电容传感器的灵敏度 :
实际应用中为提高传感器的灵敏度,常采用差动式结构。
由此可得灵敏度 ;二、面积变化型 ; 图中(b)为通过线性位移改变电容器极板面积的型式。当动电极在x方向有位移Δx时,极板面积的改变量将是
电容的改变量将是
其灵敏度
可见该灵敏度为一常数,因此输入、输出关系为线性。 ; 图中(a)为转角型结构,当改变两极板间的相对转角时,两极板的相对公共面积发生变化。由图可知,该公共覆盖面积
α-公共覆盖面积对应的中心角;
r-半圆形极板半径。
因此当有转角变化Δα时,电容量改变
同样得这种情况下电容器的灵敏度 ; 图中(c)为圆柱体线位移型结构,其中圆周为固定,圆柱在其中移动。利用高斯积分可得该电容器的电容量
式中
D-圆周内径;
d-圆柱外径。
两者覆盖长度x的变化为Δx时,电容变化量
其灵敏度
;也可将变面积型传感器做成差动型的。;三、介质变化型 ;极板上覆盖有介质
如图所示,该电容器具有两不同的电介质,其介电常数分别为εr1和εr2,其介质厚度分别为a1和a2,且a1+a2=a0。整个装置可视为由两电容器串联而成,其总电容量C由两电容器的电容C1和C2所确定,由此得 ;介质可移动
这种结构相当于将两电容器作并联。此时的总电容由两部分组成:电容C1(介电常数εr1,极板面积b0(l0-l))和电容C2(介电常数εr2,极板面积b0l)。由此得:
设介质1为空气,因此εr1 =1,又设介质全部为空气的电容器的电容为C0,则C0=ε0b0l0/a0。由于介质2的插入所引起的电容C的相对变化ΔC/C0则正比于插入深度l: ;这一原理常用于对非导电液体和松散物料的液位或堆积高度的测量。 ;测试电路
电容式传感器所测出的电容及电容变化量均很小,因此必须后接适当的放大电路将它们转换成电压、电流或频率等输出量。
运算放大器电路
将公式(3.37)代入上式可得
式中
ei——信号源电压;
eo——运放输出电压;
co——固定电容;
cx——传感器等效电容。;电桥测量电路
根据电桥平衡公式有:
其中实部有:
上式可通过调节可调电阻R1来满足,对虚部则有:
同样可通过调节可调电容器C1来实现。当电容传感器C2有变化时,则电桥相应地有输出。 ;调频电路
电容传感器作为振荡器谐振回路一部分,调频振荡器的谐振频率f为:
式中L——振荡回路电感。
当被测量使电容值发生变化时,则振荡器频率也发生变化。其输出经限幅、鉴频和放大后变成电压输出。 ;电容传感器的最大缺点:易受连接电缆线形成的寄生电容的影响。
消除寄生电容的方法:
将后续电路的前级放置在紧靠电容传感器的地方,以尽量减少电缆长度及位置变化带来的影响。
采用等电位传输(亦称驱动电缆)技术 。 ;;;; 五、 电容式传感器的应用1. 电容式压差传感器 图所示为电容式压差传感器的结构示意图,由一个金属膜片动极板和两个在凹形玻璃圆盘上电镀成的定极板组成。 ;;传声器(Microphone)即话筒,音译作麦克风,目前使用的话筒大多是动圈式和电容式。
电容传声器以振膜与后极板间的电容量变化通过前置放大器变换为输出电压。;2. 电容式加速度传感器 ;4. 电容式荷重传感器;;5. 电容式厚度传感器 电容式厚度传感器主要用来测量各种带材的厚度。在被测带材的上下两侧各放置一块面积相等且与带材距离相等的极板,并用导线把两块极板连接起来作为电容器的定极板,被测带材作为动极板,相当于两个电容并联,总电容量C=C1+C2。在轧钢过程中带材厚度变化时,将引起电容量发生变化,从而实现带材厚度的在线检测。;6. 电容式位移传感器 电容式位移传感器主要用来测量旋
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