少子寿命仪对多晶硅缺陷的表征论述.pptx

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利用少子寿命仪对多晶硅晶体 缺陷的快速量化表征;0 引言;传统多晶硅晶体缺陷表征方法 —金相显微镜法;2 少子寿命仪—常用的测试方法;少子寿命复合原理;;;;;3 PL与位错腐蚀与少子花纹对比;硅块腐蚀;4 少子花纹软件设计; 少子花纹软件计算结果;5 少子花纹与电池效率的关系;高效硅锭 (整锭花纹比例 5%, 整锭电池效率17.8%);1)少子寿命的花纹是位错的表现形式,少子花纹的比例代表了位错密度。 2)少子花纹比例与电池转换效率呈现明显的对应的关系。花纹比例低则转换效率亦高,反之亦然。 3)首次提出了一种新的多晶硅缺陷的快速量化表征的方法,特别是适合于大规模工业在线测试。;谢谢!

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