传感器5-2详解.ppt

1.声波及声表面波 无边界各向同性固体中 - 传播的声波 根据质点的振动方向（偏振方向） - 可分 纵波 - 质点振动平行于传播方向 横波 - 质点振动垂直于传播方向 两者的传播速度 - 取决于材料的弹性常数和密度;纵波速度 横波速度 、 、 - 分别为材料弹性模量、泊松比和密度 一般 为 0 ～ 0.5;严格意义上 声表面波(SAW) - 泛指沿表面或界面传播的各种模式的波 不同的边界条件和传播介质条件 可以激发出 - 不同模式的声表面波;半无限基片上存在的声表面波 - 有 瑞利波（Rayleigh Waves） 漏波（Leaky SAW） 广义瑞利波（Generalized Rayleigh Waves） 水平剪切波（SH-SAW） 电声波（B-G Waves） 兰姆波（Lamb Waves）;瑞利波 半无限基片边界条件下 - 沿介质表面传播的波 声表面波(SAW)技术中所应用的绝大部分 - 瑞利波 声表面波(SAW)均指 - 各向异性晶体上的瑞利波;瑞利波 - 特点 ① 非色散播 - 即波速与频率无关 ② 质点 - 作椭圆偏振 偏振平面 - 不一定在弧矢平面（即传播方向与表面法线决定的平面）内 椭圆的主轴 - 不一定与传播方向或表面法线平行;③质点通常有三个位移分量 - 并随深度方向呈衰减振荡 能量几乎集中在 - 1～2 个波长的深度范围内 频率越高 - 集中能量层越薄 这一特点 使 SAW 较体波更易获得高声强 - 同时该特点也使基片背面对 SAW 传播的影响很小;④波的相速度 - 依赖于晶体的切向和波的传播方向 除沿纯模方向外 - 能流方向一般也不平行于传播方向;2.声表面波的主要性质 （1）SAW 的反射及模式转换 SAW 与一般波动一样 - 遇到声阻抗不连续时便会发生反射 压电晶体表面 - 蒸镀上金属指条 使 SAW 的声阻抗 - 不连续;瑞利波 由质点作椭圆振动 - 既有横振动又有纵振动 遇到 - 阻抗不连续时 入射波 - 除了以瑞利波形式反射回来外 还有一部分能量 - 反射时会转换成体波 这种现象 - 称模式转换;叉指换能器的指条数很多，各反射信号的相位不同 - 可能出现下列情况 ①互相干扰，严重影响器件性能 - 应设法抑制 ②某个特定频率 - 各反射波同向叠加 可得到 - 百分之百的反射波 转换的体波能量 - 很少;（2）波束偏离与衍射效应 各向异性固体中，波的相速度与群速度一般是不一致的 - 这种现象称波束偏离 相位传播方向与能量传播方向的夹角 - 称偏离角(图 14);SAW 的波束偏离与衍射效应(图 14);波束偏离现象 - 会导致能量损失 偏离角 越大 - 换能器越短，距离越远，能接收的能量越少 它们之间关系 - SAW 传播方向 - 沿 方向的 SAW 速度;纯波方向 附近的速度与方向之间的关系 - 可采用抛物线近似表示 - 沿纯波方向 速度 - 各向异性因子，体现材料各向异性的程度;由于在纯波方向附近 - 偏离角 很小 故 与一般波动一样 声表面波在传播过程也存在着衍射现象 - 引起波束的发散;（3）声表面波的衰减 声表面波在传播过程 - 能量会逐渐衰减 引起衰减的原因 - 主要有 ①波束偏离 ②衍射;③声表面波与材料热生子相互作用引起的衰减 - 这是材料固有的 大小 - 取决于材料性质及环境温度,还与频率的二次方成正比 温度越低 - 衰减越小;④材料表面粗糙 - 引起表面波散射 ⑤表面波在传播时 - 不断向空间辐射声波 表面波器件设计时 - 必须有针对性地控制能量衰减 以提高 - 器件的工作性能;3.声表面波的激发 - 叉指换能器 （1）叉指换能器基本结构形式 目前使用的 SAW - 都利用叉指换能器（IDT）在压电介质上激发的 基本结构 - 图 15;叉指换能器的基本结构(图 15);叉指换能器的作用 实现 - 声-电换能 激励 SAW 的物理过程 发射叉指换能器上施加适当频率的交流电信号后 - 在压电晶片内部分布有电场 电场可分解为 - 垂直和水平两个分量（ 和 ） 通过逆压电效应使指条电极间的材料发生垂直于和平行于表面的交变形变声波 - 其频率与激变频率一致 此声信号沿基片表面传播 - 并最终由接收叉指换能器通过压电效应转换为电信号输出;（2）叉指换能器的基本输出 1）工作频率 SAW 器件的工作频率 - 外加交流电场的同步频率 由器件材料与叉指周期共同决定 - 声波波长 与电极周期 一致时得到最大激励 - 材料的表面波声速 当 时 ，;2）工作带宽 SAW 器件的工作带宽 - 取决于叉指对数 - 中心频率（工作频率） - 叉指