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第六章 压电式传感器 6.1 压电效应及材料 6.1.1 压电效应 在离子型晶体的电介质的一定方向上施加机械力而产生形变时，就会引起它内部的正负电荷中心相对转移而产生电的极化，从而导致其两个相对表面（极化面）上出现符号相反的束缚电荷Q且其电荷密度σ与外应力张量T成正比： 6.1.2 压电材料 主要特性参数： 压电常数：衡量材料压电效应强弱的参数，影响压电输出的灵敏度； 弹性常数：刚度决定压电器件的固有频率和动态特性 介电常数：决定压电器件的固有电容，固有电容影响压电传感器的频率下限（C越大，频率下限就越低）。 机械耦合系数：衡量压电材料机－电能量转换效率。是转换输出能量（如电能）与输入能量（如机械能）之比的平方根。 电阻：压电材料的绝缘电阻将减少电荷泄露，改善传感器的低频特性。 居里点温度：压电材料开始丧失压电特性的温度。即工作温度上限。 6.1.2.1压电晶体 单晶体结构：SiO2。正六面体。 各向异性： 石英晶体压电模型 外力＝0： 正负离子分布在正六边形顶角上，形成三个互成120?夹角的电偶极距P1，P2，P3。 P ql，l是正负电荷之间的距离。此时正负电荷重心重合， 矢量和P1+P2+P3 0。晶体表面不产生电荷，呈中性。 Fx拉力（ Fy 压力）： 晶体沿x方向压缩变形，正负离子相对位置变动。正负电荷重心不再重合， P1减小，P2，P3增加，使电偶极距在x方向上的分量不等于零，在x轴正方向出现负电荷；电偶极距在y方向上的分量仍为零，不出现电荷。 Fx压力（ Fy 拉力）： 晶体沿y方向压缩变形，P1增大，P2，P3减小。电偶极距x方向上的分量不等于零，x轴正方向出现正电荷；电偶极距在y方向上分量仍为零，不出现电荷。 Fz?0：晶体在x,y方向产生的形变完全相同，正负电荷重心重合，电偶极距矢量和等于零，晶体不会产生压电效应。 石英晶体 天然形成的石英晶体外形（续） 石英晶体切片及封装 石英晶体薄片 石英晶体振荡器（晶振） 石英晶体在振荡电路中工作时，压电效应与逆压电效应交替作用，从而产生稳定的振荡输出频率。 6.1.2.2 压电陶瓷 压电陶瓷是人工制造的多晶压电材料，它比石英晶体的压电灵敏度高得多，而制造成本却较低，因此目前国内外生产的压电元件绝大多数都采用压电陶瓷 。常用的压电陶瓷材料有锆钛酸铅系列压电陶瓷（PZT）及非铅系压电陶瓷 （如BaTiO3等）。 压电系数高，灵敏度较石英材料高，但工作温度低，温度稳定性和机械强度都不如石英。 2. 常用压电陶瓷 书P138表6－1 压电陶瓷外形 无铅压电陶瓷及其换能器外形 （上海硅酸盐研究所研制） 6.1.2.3 新型压电材料 1、 压电半导体 硫化锌 ZnS 、碲化镉 CdTe 、氧化锌 Zno 、硫化镉 CdS 、碲化锌 ZnTe 和砷化镓 GaAs 等。 显著特点：具有压电效应，又有半导体特性，可同时利用将两者结合，集元件与电路于一体，形成新型集成压电传感器系统。 高分子压电材料制作的压电薄膜和电缆 高分子压电薄膜及拉制 可用于波形分析及报警的高分子压电踏脚板 压电式脚踏报警器 6.3 等效电路及测量电路 6.3.1. 等效电路 相对介电常数为εr，极化面积为A，厚度为t的压电片的两电极出现等量异号的电荷，中间为绝缘体，可视为一个自源电容器： 实际等效电路 考虑连接电缆分布电容Cc，放大器输入电阻Ri 和电容Ci ，压电传感器泄露电阻Ra的影响。 6.3.2 测量电路 测量电路的主要作用： 压电传感器内阻较高，输出能量较小，测量电路需要高输入阻抗前置放大器。 阻抗匹配：将高输出阻抗变换为低输出阻抗； 信号放大：放大传感器输出的微弱信号（电压、电荷）。 常用的测量电路形式： 前置放大器：电压放大器、电荷放大器 6.3.2.1 电压放大器（阻抗变换器） 理想情况下 四通道电荷放大器外形 . 上图所示的四通道电荷放大器指标（参考东方振动和噪声技术研究所资料） 灵 敏 度：0.1～1000mV/pC 频率范围：0.3～100KHz 噪声 最大增益 ：折合至输入端小于5μV 准 确 度：1% 最大输出：±10V/10mA 电????源：220V/50Hz 控制方式：?计算机或手动 超小型电荷放大器模块 主要指标: 灵 敏 度：1、10、100mV/pC 任选一档 频率范围：0.3～100KHz 上、下限可选 噪声 最大灵敏度 ：输出端小于1mV 归 一 化：外接电阻调整 线性误差：1% 最大输出：±5V或±10V 电????源：±6V～±15V 特点：可组成经济的多点测试系统 其他电荷放大器外形 其他电荷放大器外形（续） 6.4 压电式传感器及其应用 凡是利用压电材料的各种物理效应构成的传感器均称为压电传感器； 力－电转换的变形方式