微电子技术发展的规律和趋势概论.ppt

微电子技术发展的规律和趋势;摩尔定律;Moore定律;;硅片直径加大;Moore定律;年份;摩尔定律：特征尺寸; ;微处理器的性能;集成电路技术是近50年来发展最快的技术 微电子技术的进步;Moore定律 ?? 性能价格比;世界各地区的集成电路生产份额;年份　　　　1996 1998 2000 2002 2004　　　;各行业的年增长率（％）;900 800 700600 500 400300 200 100 0;2 ;国际;微电子技术的三个发展方向;硅微电子技术的三个主要发展方向 特征尺寸继续等比例缩小 集成电路(IC)将发展成为系统芯片(SOC) 微电子技术与其它领域相结合将产生新的产业和新的学科，例如MEMS、DNA芯片等;第一个关键技术层次：微细加工 目前0.18? m已开始进入大生产 0.13? m和0.11? m大生产技术也已经完成开发，具备大生产的条件 在0.11-0.07um阶段，最关键的加工工艺—光刻技术还是一个大问题，尚未解决;净化室(NEC, 干法腐蚀）;第二个关键技术：互连技术 铜互连已在0.25/0.18um技术代中使用； 可靠性问题还有待研究开发;金属布线层数;1、净化室(NEC, 左薄膜生长，右：离子注入）; ;SOI(Silicon-On-In