微纳尺度传感器讲稿概论.ppt

微纳尺度传感器;微纳尺度传感器的发展; 微型机电系统不仅指体积微型化, 而且还指可大批量重复生产, 集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理、控制、通信等功能于一体的系统, 其中的微型传感器的作用就是采集外部信息。 外部信息（物理量）：位置、速度、加速度、压力、光、声音等。;微纳传感器的作用 微型传感器把上述的物理量转换成电信号或其它能处理的信号, 并提供给微系统, 微系统据此作出正确判断, 向微执行器发出指令, 完成一定的任务。可见, 微机电系统是一个完整的具有一定功能的系统, 其中的微型传感器是不可缺少的重要的一部分。;几种典型的微型传感器;一、微型压力传感器;称重压力传感器;超小型压力传感器;原理;压力传感器的应用;二、微型加速度传感器;微型加速度传感器;电容式加速度传感器;简单原理;采用MEMS有关工艺制成的微???速度计，其敏感芯片的体积仅和成人的小指甲盖大小差不多，比采用精密机械加工成的加速度计小12个数量级。由于其质量小，因此能承受高冲击，实验测试这种原理的微加速度计在不加电状态下X、Y、Z三个方向至少可以承受数百乃至数千g以上的冲击。;微型加速度传感器; 微型压电式加速度传感器;微型加速度传感器的应用;三、磁学量传感器;原理; 霍尔传感器;