半导体传感器第一章.ppt

半导体传感器;绪 论; 信息技术是管理和处理信息所用的各种技术的总称，现代信息技术的基础有三个主要方面： ① 信息采集 —— 传感器技术 ② 信息传输 —— 通信技术 ③ 信息处理 —— 计算机技术（包括软件和硬件） 目前提到的传感器，大多是指能输出电信号的装置。它在信息系统中处于常处于前端，它的性能如何将直接影响整个系统的工作状态与质量。因此人们对传感器在信息社会中的重要性具有相当高的评价。;传感器的重要性体现在它分布于人类的众多生活领域，并与各个学科的发展紧密联系。;传感器的应用实例——火灾报警器;传感器的应用实例——利用光脉冲测量车速和行程;电阻式远传压力表;质子旋进式磁敏传感器;风力参数传感器; 1.成就： 我国早在20世纪60年代就开始涉足传感器制造业，1972年组建成中国第一批压阻传感器研制生产单位。从改革开放以来，我国传感器技术及其产业取得了长足进步，主要表现在：建立了传感技术国家重点实验室、微米/纳米国家重点实验室、国家传感技术工程中心等研究开发基地；MEMS、MOEMS等研究项目列入了国家高新技术发展重点；经过多年的产业化建设，全国已有2000多家企事业单位从事传感器的研制、生产和应用。目前中国市场进入“百家争鸣”时期，传感器行业将迎接新的机遇和挑战。 ;2.不足 活跃在国际传感器市场上的仍然是美国、日本、德国等老牌工业国家的企业，而我国传感器行业总体技术水平落后于世界水平5～10年，某些核心制造工业技术严重滞后于国外，使我国传感器企业在国内与国际市场上缺少竞争力。 由于批产工艺的稳定性、可靠性问题没有得到根本解决，有些高性能产品，不是靠工艺保证，而是靠筛选分档，主要性能指标和国外差1-2个数量级，寿命差2-3级。 对传统传感器的革新改进不足，微小型化步子慢，集成化、智能化和纳米技术与国外差距大，科技创新差，拥有自主知识产权的产品少。; 从总体发展看，传统硅技术将一直延续到2047年才趋达到芯片特征尺寸的极限和衰退。而当前微电子技术仍将依循“等缩比原理”和“摩尔定律”两条基本规律，在尽力逼近传统硅技术极限中，不断扩展硅的跨学科横向应用（如MEMS等）和突破“非稳态物理器件”（量子、分子器件），这也是当前乃至未来20年传感器技术的主要发展方向。 结合我国的实际情况，国内传感器的发展趋势将集中在以下几个方向：;;（2）新材料的研发 ??? 随着材料行业对传感器敏感材料进一步的开发，传感器新敏感材料不断推出，高新材料已广泛用于新型传感器制造研发中，如光纤传感器，光纤传感器可分为传感型和传光型两大类。利用外界因素改变光纤中光波的特征参数，从而对外界因素进行计量和数据传输的传感器，称为传感型光纤传感器。传光型光纤传感器是指利用其他敏感原件测得的特征量，由光纤进行数据传输的传感器。与传统传传感器相比，光纤传感器具有抗电磁干扰、灵敏度高、耐腐蚀、体积小、测量对象广泛和使用寿命长等特性，因此已成为最优潜力的传感器之一。;（3）传感器的智能化 ??? 传感器的数字化和智能化的出现是传感器产业又一次突破，也成为当今传感器行业发展的重要发展方向之一。智能传感器将微处理、通信总线接口、信息检测、信息处理和信息传输等功能一体化，并自行进行补偿、校正、故障排除，将只能进行单一检测、单一功能的传统传感器与智能化技术相结合，实现传感器的多种测量、多种变量的特性。另外数字传感器内部结构简单，利用纯数字电路进行测量，抗干扰性强。随着计算机技术的发展，传感器的数字化和智能化得到了最大意义的体现，具有更大的发展潜力和空间。;（4）网络化智能传感器 传感器网络是由大量部署在作用区域内的、具有无线通信与计算能力的微小传感器节点通过自组织方式构成的能根据环境自主完成指定任务的分布式智能化网络系统。传感网络的节点间距离很短，一般采用多跳（multi-hop）的无线通信方式进行通信。传感器网络可以在独立的环境下运行，也可以通过网关连接到Internet，使用户可以远程访问。 传感器网络能够通过各类集成化的微型传感器协作地实时监测、感知和采集各种环境或监测对象的信息，通过嵌入式系统对信息进行处理，并通过随机自组织无线通信网络以多跳方式将所感知信息传送到用户终端，从而真正实现“无处不在的计算”理念。 ;课程的研究对象和主要内容 学习重点及学习方法 ;课程的研究对象及主要内容;学习重点及方法：;三、参考书籍;第一章 传感器的基本概念;§1.1 传感器的定义、组成和分类; 理解传感器的定义，请注意以下三个方面：