电子科大薄膜物理(赵晓辉)第七章 薄膜表征.ppt

第七章 薄膜的表征; 物理性能表征 X-ray diffraction X射线衍射 (XRD) Transmission electron microscopy透射电镜 (TEM) Optical microscopy 光学显微镜 Scanning electron microscopy 扫描电镜 (SEM) Atom force microscopy 原子力显微镜(AFM) Secondary ion mass spectroscopy 二次离子质谱 (SIMS) 电学性能测试 Van der Pauw Hall 霍尔效应 Capacitance-voltage (C-V) 光学性能测试 Photoluminescence (PL) 荧光光谱;Extracted from ;厚度和沉积速率表征方法;厚度表征方法;台阶仪;台阶仪测试结果示例;光干涉法;光程差＝;极值出现在：;2.2 不透明薄膜厚度的测量 －等厚干涉条纹法;若膜厚不均，干涉条纹也就不规则。若膜厚有台阶，干涉条纹出现台阶，显然相邻干涉条纹间相差λ/2。;石英晶体振荡法;固有频率：;若在蒸镀时石英晶体上接收的淀积厚度(质量膜厚)为dx，则相应的晶体厚度变化为; 优点：原位测量法，引入时间的微???电路，还可测薄膜的生长速度，灵敏度高，20Hz左右，相应于石英的质量膜厚为12埃。缺点：（1）只能得到平均膜厚；（2）当石英晶片与蒸发源位置改变时，需校准；（3）在溅射法中测膜厚，易受电磁干扰；（4）探头温度不能超过80℃。 ;形貌表征;;AFM;dislocation;结构表征;TEM;薄膜结构;薄膜内在结构;薄膜相关参数;X射线衍射仪示意图;布拉维格子;XRD图谱;薄膜织构分析;面内和面外取向;薄膜组分;卢瑟福背散射原理;卢瑟福背散射图谱