第七章 激光加工.pptVIP

第七章 激光加工;激光是20世纪60年代发展起来的一项重大科技成果，它的出现深化了人们对光的认识，扩展了光为人类服务的领域。目前，激光加工已较为广泛地应用于切割、打孔、焊接、表面处理、切削加工、快速成形、电阻微调、基板划片和半导体处理等领域中。 激光加工几乎可以加工任何材料，加工热影响区小，光束方向性好，其光束斑点可以聚焦到波长级，可以进行选择性加工、精密加工，这是激光加工的特点和优越性。;第一节 激光加工的原理与特点; (1)自发与受激辐射 根据电子绕原子核转动距离的不同，可以把原子分成不同的能级。通常把原子处在最低的能级状态称为基态；能级比基态高的状态称为激发态。处于激发态的原子，在没有外界信号作用下，自发地跃迁到低能态时产生的光辐射，称之为自发辐射。其辐射出的光子频率由两个能级间的能量差来决定，即 Hv21=E2 – E1 (7-1) 式中 h ——普朗克常数； v21 ——跃迁产生的光波频率； E1 、E2 ——原子的低能级、高能级。 ;自发辐射的特点是：每个发生辐射原子都可以看作一个相互独立的发光单元，它们彼此毫无联系，因此它们发出的光是杂乱无章的。即光子在发射方向上、在频率（波长）和初始相位上都是不一致的，发出的光是四处散开的，这就是普通光。原子的自发辐射过程完全是一种随机过程。 处于激发态的原子，在频率为V21的外界入射信号作用下，从E2能级跃迁到E1能级上，在跃迁过程中，原子辐射出的光子能量为hv21，该光子与外界输入信号处于同一状态，这一辐射过程称为受激辐射。 ; 受激辐射的特点是：所辐射出来的光子在方向、频率、相位、偏振状态与原来，“刺激”它的光子完全相同，这就是受激辐射光，简称激光。 受激吸收与受激辐射实际上是同时存在的。如果要使受激辐射占优势，就必须使处于高能级上的原子数超过低能级上的原子数。 与此相反，处于低能级的原子在外界信号的作用下从低能级向高能级跃迁的过程称为受激吸收。由于受激吸收作用的存在，使处在高能级（激发态）的原子数目大于处于低能级（基态）的原子数目的现象，称为“粒子数反转”。 ;(2)激光的形成 ;若入射光的频率v31满足式 h v31=E3 – E1，则产生受激跃迁，使具有高能级E3的原子数大大增加；由于E3能级的寿命很短，很快会从自发辐射跃迁到寿命较长的亚稳态E2，此时若有频率为V21的光子照射，便会产生受激辐射，形成频率为V21的激光。 。红宝石的化学表达式为Cr3+：Al203，激活离子是Cr3+ 。 ; 2．激光的特性 激光除具有普通光的共性（如反射、折射、绕射和相干特性）外，还具有单色性好、相干性好、方向性好和能量密度高等特性。 (1)单色性 激光具有其他光源的光所难以达到的极高的单色性。这是由于构成激光的谐振腔的反射镜具有波长选择性，并且利用原子固有能级跃迁的结果。激光是受激发射的，它的频率宽度很窄，比普通光源（如氖灯）的频率宽度要窄几个数量级。因此，激光单色性比普通光源单色性要好得多。 ; (2)方向性 激光束的方向性好，即光线的发散度小。这是因为从谐振腔发出的只能是反射镜多次反射后无法显著偏离谐振腔轴线的光波。由于不同激光器的工作物质类型和均匀性、光腔类型和腔长、激励方式以及激光器的工作状态不同，其方向性也不同。一般气体激光器由于工作物质有良好的均匀性，且腔长一般较大，所以有很好的方向性，发散角可以达到10-3rad。固体激光器方向性较差，发散角千般在10-2rad量级。 ;(3)相干性 相干性是区别激光与普通光源的重要特性。当两列振动方向相同、频率相同、相位固定的单色波叠加后，光的强度在叠加区域不是均匀分布的，而是在一些地方有极大值，一些地方有极小值。这种在叠加区域出现的强度稳定的强弱分布现象称为光的干涉现象，即这两列光波具有相干性。 激光是受激辐射占优势，加上谐振腔的作用，各发光中心是相互密切联系的，在较长时间内有恒定的相位差，能形成稳定的干涉条纹，所以激光的相干性好。 激光束的方向性和空间相干性对它的聚焦性能有重要影响。 ; (4)能量密度高 激光束也和其他光束一样，可以通过凸镜或金属反射镜加以聚焦。经聚焦后，可以将激光的巨大能量聚焦到直径为光波波长量级的光斑上，形成极高的能量密度，例如可达到l05—l013W/cm2的功率密度。 ; 二、激光加工的原理 当工作物质3（如红宝石、钕玻璃等具有亚稳态能级结构的物质）受到光泵2（激励光源）的激发后，便产生受激辐射跃迁，造成光放大，并通过由两个反射镜1、4(全反射镜和部分反射镜)组成的谐振腔产生振荡，由谐振腔一端输出激光，经过透镜5将激光束聚焦到工件6的待加工表面上。该聚焦光斑的直径仅有几微米