气相沉积表面评价与分析.pptx

气相沉积表面评价与分析;前言;;表面形貌与缺陷分析;薄膜成分分析;表面膜层的耐腐蚀性研究;摩擦磨损性能评估;膜基结合力分析;表面硬度测试;表面电阻测量;表面颜色分析;薄膜与基体结合力的试验方法;压痕试验;压痕试验;压痕试验;压痕试验;洛氏压痕法，150Kgf;划痕测试技术;划痕试验过程:;II区：在较高L时，在划痕内部的薄膜中，在压头划过后因弹性恢复引起源于表面的规则的横向裂纹；在增大的L下，薄膜逐渐被压入基体并产生塑性变形，从而产生新的横向裂纹，随L继续增大裂纹逐渐变密且方向变得不规则，直至划痕内部薄膜开始出现大片剥离，划痕宽度d明显变宽，摩擦力及塑性变形突然增大；有时还会出现划痕边界处薄膜局部小片剥落的现象。此时的L即薄膜—基体界面附着失效的临界载荷Lc。;III区：在L≥Lc以后，压头与基体直接接触，使基体塑性变形快速增大，声发射强度K和摩擦力F均较大，但无明显继续增大的趋势。 影响Lc的因素： a 、基体硬度 基体硬度（HRC）高，则其屈服强度高，使其塑性流变（塑性变形）小，从而使压头前面的薄膜中的张应力及薄膜剥离或翘起的趋势均减弱，故基体硬度高有利于提高Lc b、基体表面粗糙度Ras  基体Ras 小有利于降低薄膜的表面粗糙度Raf ，使摩擦系数μ降低而提高Lc；同时Ras 小还有利于薄膜生长完善而减小内应力，从而提高Lc。 ;c、薄膜残余内应力 薄膜—基体界面开始失效时，较高的内应力可使薄膜及界面层释放的应变能增大，而使Lc降低。因此，降低薄膜中残余内应力有利于提高Lc。d、薄膜—基体粘附能W  W是将薄膜从基体上剥离下来所需的能量，由两种材料的结构和性质一致性及界面键合状态决定。因此，提高薄膜和基体材料强度、降低薄膜—基体界面能，均可提高粘附能W，从而提高Lc。;影响压头与薄膜—基体组合体之间的摩擦系数μ主要有下列三个因素： 粘着摩擦μa：由对偶材料之间界面粘着斑的变形和剪断引起； 变形摩擦μd：塑性变形消耗机械能； 犁削摩擦μp：在有切向运动时，表面硬微凸体犁削偶件产生摩擦阻力fp，在划痕试验中起主要作用，μp随Ras的增大而变大；对脆性材料在此期间还将导致微裂纹的萌生和扩展，也使μp变大[1]。;划痕测试技术;划痕试验法;划痕试验法;划痕试验法;划痕形貌;PVD TiN(1.4 μm);PVD DLC(3.2 μm);PACVD DLC (3.3 μm);PVD AISI 316 - 10% N (10 μm);Arc-discharge DLC(0.4 μm);PACVD DLC(2 μm);PACVD DLC (3.3 μm);PVD AISI 316 - 10% N;;;影响结合力的因素;压头形貌;压头形貌;;划痕试验法标准;;划痕测试国际标准;膜厚测量;摩擦磨损测试国际标准;国内、国外检测标准的差异;国外划痕实验标准;特殊薄膜系结合力的检测与评价;（图2）;;（图3、4）;;;;;仪器使用;注 意;仪器简介;仪器主要技术指标;划痕试验： 1.加荷范围: 0.5N-200N自动连续加荷、精度0.5N 2.划痕长度: 2mm-50mm 3.加荷速率: 10N/min-100N/min 4.测量范围: 0.5μm-30μm 5.压 头: 金刚石、锥角120O、尖端半经0.2mm ;;;;;;旋转摩擦： 1.加载范围: 10g-20000g、动态加载、精度0.1g 2.平台转速: 1转/min-3000转/min精度±1转 3.升降高度: 20mm 4.试样厚度: 1mm-10mm片 5.旋转半径: 3mm-10mm 6.压 头: Φ2-6mm钢珠或Φ2-4mm圆柱 7.选购件: 加热炉（温度0-300℃可调）;往复摩擦： 1.加载范围: 5N-200N、动态加载, 精度0.5N 2.往复速度: 1mm/min-200mm/min 精度±0.1mm 3．摩擦长度: 5mm-50mm 4.升降高度: 20mm 5.试样厚度: 0.1mm-4mm精度0.01mm 6.压 头: Φ3-6mm钢珠或Φ3-4mm圆柱 7.选购件: 加热炉（温度0-300℃可调）;粗糙度试验: 1.试验载荷: 5g-10g 2.试样移动速度: 1mm/s 3.测量范围: 0.5μm-1000μm 4.试样厚度: 1mm-10mm片 5.分 辨 率: 0.1μm 6.试样半径: Φ10-40mm（圆片）或30mm*100mm（片） 7.压 头: 金刚石、锥角120O、尖端半经0.2mm ;弹性模量: 1.加荷范