太阳能电池片生产工艺解释.ppt

技术部电池片生产培训;工艺流程清洗制绒扩散刻蚀去磷硅;清 洗 制 绒影响绒;硅片表面处理的目的：形成起伏不;绒面腐蚀原理 利用酸溶;绒面形成原理绒面的密度和它们的;影响绒面质量的关键因素反应温度;关键因素的分析 ;注意事项 NaOH、HNO3;对磷扩散的认识半导体特性什么叫;对磷扩散的认识—半导体特性 ;对磷扩散的认识—半导体特性硅晶;对磷扩散的认识—半导体特性 ;对磷扩散的认识—半导体特性空键;对磷扩散的认识—半导体特性 ;对磷扩散的认识—半导体特性多余;对磷扩散的认识--什么叫扩散 ;对磷扩散的认识--什么叫扩散 ;对磷扩散的认识--什么叫扩散 ;对磷扩散的认识--什么叫扩散 ;PN结——太阳电池的心脏扩散的;太阳电池磷扩散方法１．三氯氧磷;扩散装置示意图总体结构分为四大;无标题;无标题;排 风气源柜炉体柜计算机控制柜;扩散装置示意图;扩散炉气路系统压缩空气O2N2;影响扩散的因素管内气体中杂质源;POCl3 简介POCl3是目;POCl3 简介POCl3液态;等离子体刻蚀等离子体的原理及应;什么是等离子体？随着温度的升高;等离子体的产生;等离子体刻蚀原理等离子体刻蚀是;等离子体刻蚀反应;首先，母体分子CF4在高能量的;等离子体刻蚀工艺装片　在待刻蚀;工艺参数设置负载容量（片）工作;边缘刻蚀控制 短路形成途径 ;刻蚀工艺不当的影响;刻蚀时间刻蚀时间不足：电池的并;检验操作及判断确认万用表工作正;去除磷硅玻璃;在扩散过程中发生如下反应：PO;磷硅玻璃的去除氢氟酸是无色透明;氢氟酸能够溶解二氧化硅是因为氢;注意事项在配制氢氟酸溶液时，要;检验标准当硅片从1号槽氢氟酸中;SiNx:H减反射膜 ;目录 SiNx:H简介 SiN;SiNx:H简介正常的SiNx;SiNx:H简介物理性质和化学;SiNx:H简介Si/N比对S;SiNx在太阳电池中的应用自从;SiNx在太阳电池中的应用Si;SiNx在太阳电池中的应用;PECVDPECVD =;PECVD ——;PECVD原理PECVD技术原;CVD各工艺条件的比较其它方法;PECVD的特点 ;PECVD种类PECVD的种类;PECVD种类 ;PECVD种类;PECVD种类间接式的PECV;PECVD种类间接PECVD的;光学参数;光学参数厚度的均匀性(nomi;钝化技术对于Mc—Si，因存在;钝化技术氢钝化：钝化硅体内的悬;二氧化硅膜和氮???硅膜的比较热氧;二氧化硅膜和氮化硅膜的比较从比;钝化技术;钝化技术;系统结构;系统结构炉体系统： ;安全事项 使用;丝网印刷与烧结;丝网印刷的发展史 丝网;丝网印刷原理丝网印刷是把带有图;电池片丝网印刷的三步骤背电极印;在整个生产中所处位置;背面AgAl浆可焊电极印刷丝网;背面电极印刷参数 ;背面Al浆可焊电极印刷丝网材质;背面场印刷参数 上述;背面电极及电场图示;背面图形的优缺点图1：缺点：焊;背面图形的优缺点图3：优点：与;正面栅线设计丝网材质：不锈钢丝;正面电极的印刷参数 ;正面栅线设计;正面栅线设计细栅线数：44最边;丝网版的存放方式水平方式：将同;烧结的动力学原理烧结可看作是原;烧结的目的干燥硅片上的浆料，燃;烧结温度的设定温度可根据实际情;烧结对电池片的影响相对于铝浆烧;烧结对电池片的影响背面场经烧结;质量要求烧结后的氮化硅表面颜色;安全事项灼热的表面有烫伤的危险