第3章 半导体制造中的化学品.ppt

第3章 半导体制造中的化学品 ;3.1 物质形态;3.2 材料的属性;3.2 .1 半导体制造中的化学属性;3.2 .1 半导体制造中的化学属性;3.2 .1 半导体制造中的化学属性;3.2 .1 半导体制造中的化学属性;3.2 .1 半导体制造中的化学属性;3.2 .1 半导体制造中的化学属性;3.2 .1 半导体制造中的化学属性;3.2 .1 半导体制造中的化学属性;3.2 .1 半导体制造中的化学属性;3.3 工艺用化学品;3.3.1 液体;3.3.1 液体;3.3.1 液体;3.3.1 液体;3.3.1 液体;3.3.1 液体;3.3.1 液体;3.3.1 液体;3.3.2 气体;3.3.2 气体;3.3.2 气体;3.3.2 气体;3.3.2 气体;3.3.2 气体;3.3.2 气体;3.3.2 气体