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分振幅法(平板干涉)优点;分振幅法; 利用薄膜上、下两个表面对入射光的反射和折射,可在反射方向(或透射方向)获得相干光束。;一、干涉条纹的定域
两个单色相干点光源在空间任意一点相遇,总有一确定的光程差,从而产生一定的强度分布,并都能观察到清晰的干涉条纹,称为非定域干涉。;1.条纹定域:;由空间相干性理论,在P点观察到干涉条纹条件;定域在无穷远处(或透镜焦平面)的图示;二、平行平板产生的等倾干涉;由折射定律和几何关系可得出:;入射光掠入射(i≈90°)或正入射(i= 0)情况下:
满足 n1n2n3 或 n1n2n3 时,计入半波损失;
满足 n1n2n3 或 n1n2n3 时,不计半波损失。;2.平板干涉装置
注意:采用扩展光源,条纹定域在无穷远。
条纹成像在透镜的焦平面上。; 圆形等倾条纹;面光源照明;光源上每一点都给出一组等倾条纹,它们彼此准确重合,没有位移;3、条纹分析;
;
;
;中央条纹疏,边缘条纹密。平板愈厚条纹也愈密。;
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;
;(1)平板由A处移到B处,观察到有10个暗环向中心收缩并一一消失,试决定A处和B处对应的平板厚度差。;解(1)由平板干涉的光程差公式;解(2)光源的相干长度为;例题 一平板玻璃(n=1.50)上有一层透明油膜(n=1.25),要使波长?=600nm的光垂直入射无反射,薄膜的最小膜厚e ;例题 阳光垂直照射在空气中的肥皂膜上,膜厚e=380nm, 折射率n2=1.33 ,问:肥皂膜的正面和背面各呈什么颜色?;背面透射加强=反射减弱,于是有;第六节 楔形平板产生的干涉(等厚干涉);定域深度; 眼睛瞳孔对光束的限制 ;图3.44 楔形平板的干涉;它是厚度 h 的函数,在同一厚度的位置形成同一级条纹。;(1);Dh;(3)条纹间距;干涉条纹分布的特点:; 测细小直径、厚度、微小变化;(1)检测待测平面的平整度;(2).测量微小物体的厚度;(3). 测量微小角度.;例题 在检测某工件表面平整度时,在工件上放一标准平面玻璃,使其间形成一空气劈尖,并观察到弯曲的干涉条纹,如图所示。求纹路深度H。;例题2-19 制造半导体元件时,常常需要精确地测量硅片上的二氧化硅(SiO2)薄膜的厚度,这时可用化学方法把二氧化硅薄膜一部分腐蚀掉,使它成为劈尖状。已知SiO2和Si的折射率分别为n2=1.57和n3=3.42,所用波长为?=6000?,观察到劈尖上共出现8条暗纹,且第八条暗纹恰好出现在斜面的最高点。求SiO2薄膜的厚度。;(三)牛顿环;当以单色光垂直照射时,在空气层上会形成一组以接触点 O 为中心的中央硫、边缘密的圆环条纹,称为牛顿环。它的形状与等倾圆条纹相同,但牛顿环内圈的干涉级次小,外圈的干涉级次大,恰与等倾圆条纹相反。;若由中心向外数第 N 个暗环的半径为 r,则由牛顿环的实验图可知;因第 N 个暗环的干涉级次为(N + l/2),故可由暗环满足的光程差条件写出;应用:
牛顿环除了用于测量透镜曲率半径只外,还常用来检验光学零件的表面质量。常用的玻璃样板检验法就是利用与牛顿环类似的干涉条纹。这种条纹形成在样板和待测零件表面之间的空气层上,俗称为“光圈”。根据光圈的形状、数目以及用手加压后条纹的移动,就可以检验出零件的偏差。;例如,当条纹是图所示的同心圈环时,表示没有局部误差。假设零件表而的曲率半径为R1,样板的曲率半径为 R2,则二表面曲率差?C=1/R1 - 1/R2。
由图的几何关系有;如果零件直径 D 内含有 N 个光圈;;例题 如图所示,平板玻璃由两部分组成(冕牌玻璃n=1.50,火石玻璃n=1.75),平凸透镜用冕牌玻璃制成,其间隙充满二硫化碳(n=1.62),这时牛顿环是何形状?;(2) 对于左边,由于1.50 1.62 1.75 ,因此入射光小角度入射时,从空隙上下表面反射的两束光的光程差无半波损失,即;例题 在观察牛顿环时,用?1=0.5?m的第6个亮环与用?2的第7个亮环重合,求波长?2=?;;例题 如图,检查待测工件与标准工件是否吻合时,牛顿环观察到的暗条纹有两条 。
求:(1) 待测工件与标准工件间的最大缝隙?(2) 轻微挤压标准工件时,如果环纹向外扩张(或收缩),那么,标准工件与待测工件的半径有何关系? ;;第七节 典型的双光束干涉系统及其应用
一、典型干涉系统;a;? 测量平行平板的平行度和小角度光楔的楔角;;小结:
基本特点:(1)属于等厚干涉;2、迈克尔逊干涉仪
(The Michelson interferometer);; 若M1、M2平行 ? 等倾条纹;等
倾
干
涉
条
纹;当M1每平移λ/2 时,将看到一个明(或暗)条纹移
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