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介电材料又称电介质，是电的绝缘材料。主要用于制造电容器。要求材料的电阻率高，介电常量大。种类很多，重要的有金红石（TiO2）瓷，含二氧化钛的复合氧化物陶瓷，如钛酸钙、钛酸镁、钛酸钡等。云母具有层状结构，易剥离成薄片，适于用作叠层型电容器。 压电材料，钛酸钡BT、锆钛酸铅PZT、改性锆钛酸铅、偏铌酸铅、铌酸铅钡锂PBLN、改性钛酸铅PT等。这类材料的研制成功，促进了声换能器，压电传感器的各种压电器件性能的改善和提高。 稀土参杂 1.铈掺杂 A 用改善的溶胶凝胶法制备铈掺杂钛酸锶钡(Ba 0.6 Sr 0.4 TiO 3 , BST)薄膜，研究其结构与介电性能。X 射线光电子能谱表明，铈掺杂显著地减少了薄膜表面非钙钛矿结构。但是，由于掺杂薄膜较薄且掺杂量小，X射线衍射结果未见明显变化。(AFM)原子力显微镜结果表明，掺杂BST薄膜表面光滑致密。掺杂BST 薄膜的介电性能大幅度提高，在40 V 外加电压下介电调谐率达 60.8%，零偏压下的介电损耗为0.0265。 Sol-Gel法具有分子级均匀度、容易改性、掺杂范围宽、工艺简单以及成本低等优点 而得到普遍青睐。但Sol-Gel法薄膜容易产生裂纹、致密性差，阻止了该方法的广泛应用。针对这个问题，用添加聚乙烯醇(polyvinyl alcohol)或聚乙烯吡咯烷酮(polyvinyl pyrrolidone，PVP) 添加剂来改善 BST的形貌并取得良好的效果。 按 Ba 0.6 Sr 0.4 TiO 3 的化学计量比分别称取一定量醋酸钡和醋酸锶溶于热冰醋酸中，经充分搅拌形成 BaSr前驱液；称取一定量醋酸铈溶于热冰醋酸中，经充分搅拌形成 Ce 前驱液；将适量的钛酸丁酯与乙酰丙酮混合并加热搅拌而成 Ti 前驱液。将 BaSr 前驱液和 Ti前驱液充分混合并加热搅拌，再加入乙二醇甲醚和PVP，充分搅拌后用乙二醇甲醚滴定定容，得到一定浓度的稳定透明溶胶。 称取一定量醋酸铈溶于热冰醋酸中，经充分搅拌形成Ce前驱液。，未掺杂时，薄膜的 XRD 峰很微弱，但呈(110)择优取向。掺Ce后，由于薄膜的晶粒细化，且薄膜较薄及掺杂量(1%摩尔分数)较少，则XRD峰更微弱。据文献[7]报道，当 Ce 的掺杂量10%时，XRD图谱才有明显变化。 B 2 其它 有文献报道, 用La 3+ 、Ce 4+ 、Sm 3+ 、Dy 3+等稀土元素离子进行A 位掺杂取代, 均使材料的性能得到了不同程度的提高。 加MgO、MgT iO 3 、Mg 2 SiO 4 等化合物。镁离子能够提高BST材料的介电性能、降低漏导电流并保持较好的可调谐性。Mg2+进行部分B位取代。 研究发现微量MgO 掺杂对Ba 0. 6 Sr 0. 4 TiO 3 陶瓷的介电性能有较大改善, 使得材料的居里温度明显向低温方向移动, 且使室温附近的介电损耗大幅度降低,一方面因为Mg 离子替代B 位的T i 离子使得晶胞参数变小而致; 另一方面是由于晶粒尺寸变小使得内应力增大导致系统向立方钙钛矿结构转变。 XPS analysis of Pb(Zr0.52Ti0.48)O3 thin film after dry-etching by CHF3 plasma 快速热处理对BaSrTiO3薄膜微结构的影响 HYPERLINK /asp/vipsearch.asp?Query=?????Type=A张雪峰[1] HYPERLINK /asp/vipsearch.asp?Query=?????Type=A李会容[2] HYPERLINK /asp/vipsearch.asp?Query=?????Type=A武昭妤[1] [1]HYPERLINK /asp/vipsearch.asp?Query=??????????????????????????Type=S钒钛资源综合利用四川省重点实验室,四川攀枝花617000 [2]HYPERLINK /asp/vipsearch.asp?Query=????????????????????Type=S攀枝花学院电气信息工程学院,四川攀枝花617000HYPERLINK /qk/92115X/index.shtml《材料工程》HYPERLINK /qk/92115X/200909/index.shtml2009年第9期 摘　　要:采用射频溅射法在Si基片上制备BaSrTiO3（BST）薄膜，利用S射线衍射和原子力显微镜（AFM）研究了快速热处理温度和时间对BaSrTiO3薄膜微结构的影响。结果表明：BST薄膜的衍射峰强度和结晶度随退火温度的升高而提高。随退火温度的升高，BST薄膜的表面粗糙度经历先降低后增大的