LDI日立曝光设备说明研究.pptVIP

LDI 曝 光 機 設 備 說 明 ---日立DE-S;LDI曝光制程介紹大綱;1. 曝光製程定義;整板電鍍;2.1.2 C.M. Process;2.1.3 Q/L Process;2.1.4 A/L Process;2.2 HDI曝光製程品質關聯圖;3.LDI技術說明;3.1 LDI定義;直接成像技術;Physical panel;材料漲縮改善;快速打樣生產時間縮短;Pentax (ORC);Exposure;3.4.1 對位能力佳;30um L/S with 40um thickness;;LDI曝光機本體動作說明;LDI曝光機本體動作說明;4. LDI曝光機設備介紹;4.1 前置定位區簡介;4.1.3 感應系統舆馬達;4.2 對位系統說明;4.2.2 對位原理;B.靶孔間距計算方式;C.對位原理;;4.2.3 對位區結構;床臺X向伺服馬達驅動控制;床臺Y向伺服馬達驅動控制;床臺Z向伺服馬達驅動控制;床臺θ向伺服馬達驅動控制; A. 臺面工作結構及原理介紹;CCD 固定位置不能做移動，此點區別於傳統曝光機;CCD 讀取靶孔設定;;;;;;;;对位孔无法认出;4.2.4 對位精度確認;4.3 曝光系統說明;4.3.1 曝光過程定義;;LD 光源系統;;Light source;DMD : Digital Micro-Mirror Device;;;4.3.3 LD冷卻系統介紹;冷卻機;4.3.4 光路能量測定;4.4 電腦控制系統說明;ODB++;;工作站(DELL);Work Station;CCD控制电脑 ;4.4.2 Work Station 工作系統說明;填寫工作名稱,即料號名,層別名;;;;;Lignment:對位設定選項 本選項有No, Yes選擇,選No表示機台不進行對位就直接進行曝光(用於內層及干膜能量, 測試點製作)正常曝光生產中要選擇Yes功能,選此功能后點選右邊的”Alignment Position” 按鈕,進行細項目的設定;;曝光機細項設定 設定曝光檯面移動速度0~9m/min,移動速度越快曝光精度約差,但產量高,反之精度 高,但產量低CS 為Y方向一次曝光格數,每格為2.65um，S為X方向一次曝光格數, 每格為2.65um, Step為 CS,S面積內以倍率進行曝光作業;;B. 生產操作作業;開啟Exposure作業程序: ;對要生產的料號再進行檢查: 檢查項目: 是否有對位設置,曝光原點是否和CAM一直,料號名稱是否正確,層別 對應是否正常（依照設定料號說明進行）;;C. LD能量調整;D. LD光照度測定及校正;4.4.3 CNC工作系統說明;床臺X向伺服馬達驅動控制;床臺Y向伺服馬達驅動控制;床臺Z向伺服馬達驅動控制;床臺θ向伺服馬達驅動控制;4.5 周邊配套系統說明;;;曝光室冷却系统—正视??;;曝光室冷却系统—正视图;4.5.2 LD冷卻系統介紹;LD光源产生器冷却系统;冷卻機;THE END