电子光学基础精编.pptVIP

电子光学基础;主要内容;1、引言;显微镜一词，于1625年由法布尔首先提出，并一直沿用至今。 近代显微镜——英国物理学家胡克制造的复式显微镜，能放大140倍。他用这台显微镜观察了软木塞具有蜂巢状结构，据此提出了“细胞”一说。 1684年，荷兰物理学家惠更斯设计并制造了第一台双透镜显微镜，已经具备了现代显微镜的基本构造。 19世纪，德国物理学家恩斯特?阿贝提出显微镜的完整理论;电子光学基础;普通光学显微镜与透射电镜(TEM)工作原理比较;1、引言;2、电子波与电磁透镜;2、电子波与电磁透镜;2、电子波与电磁透镜;当两个埃利斑的中心间距等于埃利斑的半径R0时，在两个埃利斑强度叠加曲线上，两个最强峰之间的峰谷强度降低了19％，这个强度反差对人眼来说是刚有所感觉，即该反差是人眼能否感觉出存在S1’、S2’两个斑点的临界值。将此时两个埃利斑的间距折算到物平面上点S1、S2的位置上去，就形成两个以△r0＝R0/M为半径的小圆斑，两个圆斑之间的距离与它们的半径△r0相等。如果两个物点S1、S2的距离进一步缩小，就无法通过透镜把它们的像S1’、S2’分辨出来。 结论：若以任一物点为圆心，并以△r0为半径作一个圆，此时与之相邻的第二物点位于这个圆周之内时，透镜就无法分辨出此二物点间的反差。如果第二物点位于圆周之外，便可被透镜鉴别出来。因此△r0就是衍射效应限定的透镜分辨率。;2、电子波与电磁透镜;一般，人眼分辨率为0.2mm，光学显微镜使人眼分辨率提高了1000倍，称为有效放大倍数。所以光学显微镜放大倍数在1000 ~1500，再高的放大倍数对提高分辨率没有实际贡献（仅仅是放大图像的轮廓，对图像细节没有作用）。 问题：如何提高分辨率？ 由 知，提高分辨率的关键是降低照明源的波长。;(2) 电子波波长; 当电子运动速度较低时，m接近电子静止质量m0（m0＝9.1×10-31Kg）；当电子运动速度很高时，电子质量必须经过相对论校正，即： 可见，λ与U成反比，加速电压U越高，电子运动速度v越大，电子波长λ越短。;不同加速电压下的电子波波长;不同加速电压下的电子波波长;(3) 电磁透镜;静电透镜;电磁透镜;电子在磁场中要受到洛伦兹力： 电子沿磁场方向入射,则电子沿这个方向匀速直线运动。 电子垂直于磁场方向入射,则电子在一个平面内做圆周运动 电子相对于磁场方向以任意角入射,则电子做螺旋线运动。;(i)电磁透镜聚焦成像原理;(i)电磁透镜聚焦成像原理;2、电子波与电磁透镜;电磁线圈：产生磁力线 软铁壳：提高磁力线密 集程度，从而提高磁感应强度，增大对电子折射能力 极靴：使磁场强度有效集中在狭缝几毫米范围内。;(ii) 电磁透镜结构;电磁透镜成像时满足光学透镜成像基本公式，即物距u、像距v和焦距 f 满足下式： 对于电磁透镜，其焦距 f 是可以改变的，f 常用近似公式为： 式中K为常数；Ur是经相对论校正的电子加速电压；IN是线圈的安匝数。 改变激磁电流可以方便地改变电磁透镜焦距。且电磁透镜焦距 f 总为正值，表明电磁透镜只有凸透镜，不存在凹透镜。;根据 知，光学透镜其最佳分辨率为波长一半，而对于电磁透镜远远达不到。以H-800电镜为例，加速电压为200kV时，理论极限分辨率为0.00125nm，而实际上只有0.45nm。;（1）球差—Δrs 球差—由于电磁透镜近轴区域和远轴区域磁场对电子折射能力不同而产生的一种像差。;一个理想物点P经透镜折射后，远轴的电子通过透镜是折射得比近轴电子要厉害多，以致两者不交在一点上，结果在像平面成了一个散焦圆斑，如图示。若用像平面沿主轴从前焦点移动到后焦点，将得到一个最小散焦斑（半径为Rs）。将最小散焦斑还原到物平面上，得到半径为Δrs= Rs/M圆斑。;定义Δrs为球差 其中：Cs—球差系数，通常电磁透镜的Cs相当于焦距， 约为1~3mm；α—孔径半角。 通过减小Cs和降低α来减小球差，尤其减小α可以显著降低Δrs。但无法像光学显微镜那样通过凸、凹透镜的组合设计来补偿或矫正;（2）像散 像散——由于透镜磁场的非旋转对称(轴向不对称)引起的像差。极靴内孔不圆、上下极靴轴线错位、极靴材质不均匀以及周围的局部污染都会导致透镜的磁场产生椭圆度，使电子在不同方向上的聚焦能力出现差异。;3、电磁透镜的像差与分辨率;(3) 色差 色差—由于入射电子波长（或能量）的非单一性，从而在透镜磁场中运动轨迹不同，不能在一点聚焦而形成的像差; 用ΔrC表示色散，得 CC—色差系数；（ΔE/E）—电子束能量变化率。 当CC、α一定时，电子的能量波动是影响ΔrC的主要因素。;综上所述，球差对分辨率影响最大且最难消除，其他像差通过采取适当的措施，基本可以消