HYPERLINK /Patent_CN201510292141.X.aspx \t _blank 一种掺杂类金刚石薄膜及其制备方法??
[发明专利] CN201510292141.X_??中国科学院宁波材料技术与工程研究所 2015年5月30日
本发明提供一种掺杂类金刚石薄膜的制备方法,其包括如下步骤:a根据第一性原理计算模拟金属原子与碳原子的成键特征,筛选出与碳原子具有反键特征的掺杂金属元素;b通过离子束法形成类金刚石薄膜,并在类金刚石薄膜的成膜过... HYPERLINK /view/一种掺杂类金刚石薄膜及其制备方法.aspx?ID=Patent_CN201510292141.X \t _blank 查看全文??-?? HYPERLINK /Patent.ashx?Type=downloadID=Patent_CN201510292141.X \t _blank 下载全文??-?? HYPERLINK /Patent.aspx?q=%E7%B1%BB%E9%87%91%E5%88%9A%E7%9F%B3%E8%96%84%E8%86%9Cf=c.Patent 导出
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[发明专利] CN20141
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