2.6压电式检测元件精讲.pptVIP

2.检测技术与检测元件;基本要求;力敏感传感器，可测如力、压力、加速度等 双向传感器 体积小、重量轻 结构简单、工作可靠 频响宽 最常用的压电材料是石英晶体和压电陶瓷;? 各种小巧的压力传感器;压电陶瓷位移器;压电效应演示;1、顺压电效应：一些电介质，在受到一定方向的外力作用而变形时，内部产生极化现象，而在其表面产生电荷，当去掉外力后，又重新回到不带电状态，这种将机械能转换成电能的现象，称为顺压电效应或正压电效应，又称为压电效应。 2、逆压电效应：当在电介质极化方向施加电场时，电介质在一定方向上产生机械变形，内部出现机械应力，这种将电能转换成机械能的现象称逆压电效应,又称为电致伸缩效应。;(1)天然形成的石英晶体外形;;天然形成的石英晶体外形（续） ;外形规则，是一个正六面体 石英晶体是各向异性晶体 在直角坐标系中，它有三个轴。;(2)石英晶体的三个晶轴;石英晶体切片及封装;; 当晶片在沿X轴的方向上受到压缩应力sxx的作用时，晶片将产生厚度变形，并发生极化现象。 在晶体的线性弹性范围内，极化强度Pxx与应力sxx 成正比，即;结论：当晶片受到X向的压力作用时， Qxx与作用力Fx成正比， 而与晶片的几何尺寸无关。;式中 ——电极面间电容。 ;在X轴方向施加压力时，左旋石英晶体的X轴正向带正电；如果作用力FX改为拉力，则在垂直于X轴的平面上仍出现等量电荷，但极性相反，见图(a)、(b)。; 如果在同一晶片上作用力是沿着机械轴的方向，其电荷仍在与X轴垂直平面上出现，其极性见图（c）、（d），此时电荷的大小为 ;结论： 1. 沿Y轴的方向施加作用力产生的电荷与沿X轴施加作用力所产生的电荷极性相反。(负号) ;FX;压电效应;厚度切变型; 例１：有一个石英晶体，其面积Ｓ＝３ｃｍ２，厚度ｔ＝0.3mm，压电系数d11=2.31*10-12C/N。求沿X轴方向受到压力p=10MPa作用时产生的电荷q及输出电压U。已知 ;4.压电材料 常用的压电材料有压电晶体、压电陶瓷、高分子材料 最典型的压电晶体是石英晶体 压电陶瓷是人工制造的多晶体压电材料 ;材料内部的晶粒有许多自发极化的电畴, 它有一定的极化方向, 从而存在电场。 在无外电场作用时, 电畴在晶体中杂乱分布, 它们的极化效应被相互抵消, 压电陶瓷内极化强度为零。因此原始的压电陶瓷呈中性, 不具有压电性质。;②加电场：压电陶瓷极化处理;　　　压电陶瓷在极化面上受到垂直于它的均匀分布的作用力时（亦即作用力沿极化方向），则在这两个镀银极化面上分别出现正、负电荷。其电荷量q与力F成正比，比例系数为 d33，亦即;　极化压电陶瓷的平面是各向同性的，对于压电常数，可用等式 d32=d31表示，它表明平行于极化轴（Z轴）的电场，与沿着Y轴（下标2）或X轴（下标１）的轴向应力的作用关系是相同的。极化压电陶瓷受到均匀分布的作用力F时，在镀银的极化面上，分别出现正、负电荷q。 　式中 Ax——极化面的面积； 　 Ay——受力面的面积。 ;2.6.2压电式检测元件的等效电路及连接方式 　 （1）等效电路 压电晶体承受被测机械力作用时，在它的两个极板面上出现极性相反但电量相等的电荷。显然可以把压电元件看成一个电荷源（静电发生器）；也可以把它视为一个极板上聚集正电荷，一个极板上聚集负电荷，中间为绝缘体的电容，如图所示。其电容量为 　当两极板聚集异性电荷时，则两极板就呈现出一定的电压，其大小为;压电传感器可等效为电压源Ua和一个电容器Ca的串联电路，如图(a)； 也可等效为一个电荷源q和一个电容器Ca的并联电路，如图(b)。 ;;如果用导线将压电传感器和测量仪器连接时,则应考虑连线的等效电容,前置放大器的输入电阻、输入电容。;　补充：压电传感器测量电路 　压电传感器的内阻抗很高，而输出的信号微弱，因此一般不能直接显示和记录。 　测量时，需把压电传感器用电缆接于前置放大器，前置放大器作用： 放大传感器输出的微弱信号 把压电式传感器的高阻抗输入变换成低阻抗输出 　 根据压电元件的工作原理，前置放大器有两种形式： 电压放大器，其输出电压与输入电压（压电元件的输出电压）成正比； 电荷放大器，其输出电压与输入电荷成正比。 ;1、电压放大器; 电压放大器的等效电路如图所示，其中等效电阻R为 等效电容 C分别为 如果压电元件受到交变力的作用，f为： 式中 Fm——作用力的幅值。; 若压电元件所用压电材料为压电陶瓷，其压电系数为d33，则在外力 作用下，压电元件产生的电压均按正弦规律变化，即 或