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第十三章 电子探针显微分析;引 言;§13-1 电子探针仪的结构与工作原理;图13-1 电子 探针仪的结构示意图;一. 波长分散谱仪（波谱仪WDS）;图 13-2 分光晶体;聚焦目的：提高X射线收集效率 聚焦方法： a 约翰(Johann)型聚焦法——ρ=2R，此法为半聚焦法。 b 约翰逊(Johansson)型聚焦法——ρ=R，为全聚焦法。;a 约翰(Johann)型聚焦法;3 收集不同波长X射线的方法;图13-4 两种常见的谱仪 (a)回转式波谱仪 (b)直进式波谱仪 ;㈡ 分析方法;图 合金钢(0.62Si，1.11Mn，0.96Cr，0.56Ni，0.26V，0.24Cu)定点分析的谱线图;2 波谱仪分析成分时应注意的问题：;二. 能量分析谱仪（能谱仪EDS）;图13-5 锂漂移硅谱仪方框图;(a)能谱曲线;如上图：横坐标为特征能量——确定元素种类 纵坐标为强度——确定元素的含量;㈡ 能谱仪成分分析特点;2. 能谱仪的不足;§13-2 电子探针仪的分???方法及应用;图 ZrO2(Y2O3)陶瓷析出相与基体定点分析 (图中数Y2O3mol%);2. 线分析;图 BaF2晶界的线扫描分析 (a)形貌像及扫描线位置；(b