气敏材料传感器详解.ppt

;课程主要内容;1.气体传感器应用示例;2.气敏传感器的分类;;3.气敏传感器的主要参数及特性;实际应用对气敏传感器的要求:;4.金属氧化物的半导体化;;对于间隙原子;外来杂质F，如果是间隙，金属为施主，电负性大的为受主，如果是替位，分2两种情况： （1）替代M，化合价大于M，有剩余电子被激发出去，形成施主能级，化合价小，形成受主能级。 （2）替代O时，化合价大，起受主作用，化合价小，起施主作用。;5.表面电阻控制型气体敏感元件;5.表面电阻控制型气体敏感元件;5.表面电阻控制型气体敏感元件;(b)薄膜型SnO2气敏元件;(c)厚膜型SnO2气敏传感器;1/2O2+ne-Oad-;气体传感器初始过程和响应;;5.5烧结型SnO2气敏元件的制备工艺;5.6 SnO2气敏元件材料的添加剂;5.7 ZnO表面电阻控制型气体敏感元件;5.8 ZnO气体敏感元件工艺;5.10气体传感器的综合测试装置;6.体电阻控制型气敏元件;γ-Fe2O3??敏元件结构;6.体电阻控制型气敏元件;6.3金属氧化物半导体氧敏感元件;6.4二氧化钛半导体氧敏感元件;7.1金属半导体接触;7.非电阻型半导体气敏传感器; ;Pd-TiO2二极管电流电压特性; 由于钯对氢气(H2)特别敏感，当钯吸附了H2以后，会使钯的功函数降低，导致MOS管的C-V特性向负偏压方向平移。根据这一特性就可用于测定H2的浓度。 ;7.4 MOS场效应晶体管气敏器件;Pt栅场效应晶体管对氢气的响应;半导体气敏传感器的各种检测对象气体 ;A 简易家用气体报警;E 烟雾报警器;9.基于MEMS技术的气体微传感器;以半导体硅单晶为基体，采用集成电路工艺和催化金属膜制成。主要用于检测氢气、含氢化合物和一氧化碳等气体，商品化不及电导型，工艺先进，有较好前景;