Charpter_7-XPS调研报告.pptVIP

X射线光电子能谱分析X-ray Photoelectron Spectroscopy;主 要 内 容;7.1 XPS的基本原理;鉴于K. Siegbahn教授对发展XPS领域做出的重大贡献，他被授予1981年诺贝尔物理学奖。;X射线光电子能谱（ XPS ，全称为X-ray Photoelectron Spectroscopy）是一种基于光电效应的电子能谱，它是利用X射线光子激发出物质表面原子的内层电子，通过对这些电子进行能量分析而获得的一种能谱。 这种能谱最初是被用来进行化学分析，因此它还有一个名称，即化学分析电子能谱（ ESCA，全称为Electron Spectroscopy for Chemical Analysis）;XPS全谱;;7.1 XPS的基本原理;7.1 XPS的基本原理;7.1 XPS的基本原理;7.1 XPS的基本原理;同层电子，原子序数越大，结合能越大。;定性分析：求出电子结合能，推测元素的种类。 定量分析：光电子的强度与样品中该原子的浓度有线性关系。 化合态分析;7.1 XPS的基本原理;7.1 XPS的基本原理;K (n = 1);C1s;1. 定义： 原子所处的化学环境不同, 引起电子结合能的变化。在谱图上表现为谱峰的位移。 2. 化学位移现象起因及规律 （1）原因 原子核对内层电子有吸引力，外层电子对内层电子有排斥（屏蔽）作用。当原子的化学环境发生改变，会引起原子核的吸引力和外层电子的屏蔽作用的改变，从而改变内层电子的结合能。;7.1 XPS的基本原理;7.1 XPS的基本原理;7.1 XPS的基本原理; 1. XPS谱图的表示 横坐标：动能或结合能，单位是eV，一般以结合能 为横坐标。 纵坐标：相对强度（CPS）。 结合能为横坐标的优点： 结合能比动能更能反应电子所处的能级 结构 结合能与激发光源的能量无关 ; 2．谱线的种类 ;俄歇线也有化学位移，与光电子线的位移方向一致。 当光电子性位移不明显时，可以利用俄歇线位移，对元素化学状态提供信息。;X射线源中的杂光激发出的光电子。;D、多重分裂（Multiple Splitting）;光电子穿过样品表面时同原子（分子）发生非弹性碰撞、损失能量后在谱图上出现的伴峰。;光电发射后，内层形成空位，原子中心电位发生突然变化，引起价层电子的跃迁。有两种可能： （1）价壳层电子跃迁到更高能级的束缚态，则称之为电子的 振激； （2）如果价壳层电子跃迁到非束缚的连续状态成为自由电 子，则成为电子的振离;XPS谱图中有时会出现一些难以解释的光电子线，这时要考虑该线是否是鬼线。 鬼线来源于阳极靶材料中的微量杂质。;XPS谱图的背底随结合能值的变化关系 ;4. XPS峰强度的经验规律 （1）主量子数小的壳层 的峰比主量子数大 的峰强； （2）同一壳层，角量子 数大者峰强； （3）n和l都相同者，j大 者峰强。;7.1.5 XPS的优点与特点;7.2 光电子能谱仪实验技术;*;一般常用Mg或Al的K?1和K?2复合线，它们的K?1和K?2双线间隔很近，可视为一条线。（K ?12 ） Mg的K?线能量为1253.6eV，线宽（半宽度）为0.7eV； Al的K?线能量为1486.6eV，线宽约为0.85eV。;使用单色器可使线宽变窄，去除X射线的伴线，减弱连续X射线造成的连续背底，提高信噪比和分辨率。但单色器会减弱X射线强度，影响检测灵敏度。 ;作用：测定样品发射的光电子能量分布。; 电子倍增器：内壁具有二次发射性能，电子进入器件后在通道内连续倍增，增益可达 106 ;;7.2.2 样品的制备及测定 ;压片法，适用于软散的样品。 溶解法。适用于溶于易挥发有机溶剂的样品。将1～2滴溶液滴在镀金的样品托上，晾干。 研压法。适用于不溶于易挥发有机溶剂的样品，将少量样品研磨在金箔上，形成薄层。;其它注意事项;（二）仪器校正;（三）收谱;窄扫描：对某一段（ 20 eV）感兴趣的能量范围扫描分析，分辨率0.1eV，得到谱线的精细结构。扫描区间包括待测元素的能量范围，但又没有其它元素的谱线干扰。用于定量分析和化合态分析。;（四）XPS图谱解释 ;7.2 光电子能谱仪实验技术;7.2 光电子能谱仪实验技术;7.2 光电子能谱仪实验技术;7.2 光电子能谱仪实验技术;7.2 光电子能谱仪实验技术;7.3 X射线光电子能谱的应用;7.3 X射线光电子能谱的应用;7.3 X射线光电子能谱的应用;Pb 4f;7.3 X射线光电子能谱的应用;7.3 X射线光电子能谱的