滚转角干涉仪探析.pptxVIP

精密滚转角测量干涉仪使用说明书基本原理–光学原理光学拍Confidentialzλ1λ2zE基本原理–光学原理拍频比相ConfidentialEREMT产品性能参数测量行程Confidential滚转角范围测量分辨率取决于反射镜尺寸，根据设计尺寸计算行程约为6m，实际完全可以满足3m行程的使用DPMI水平分光方式，1000mm行程可测±0.4°。DPMI竖直分光方式，1350mm行程可测±1.3°。计算公式采用ZMI2000,1count=0=3.8094541μrad产品构成楔角棱镜Confidential楔面反射镜ZYGODPMI产品构成ZYGODPMIConfidential固定在被测物体前面，尽量靠近被测物体。具体使用说明参见OMP-0223DDPMI竖直分光DPMI水平分光产品构成楔角棱镜Confidential固定在被测物体上随被测物体一起运动。注意光从小孔入射，从大孔出射小孔大孔产品构成楔面反射镜Confidential固定在被测物体后面，尽量靠近被测物体。光路结构滚转角测量光路ConfidentialDPMI分光模块楔角棱镜楔面反射镜产品安装激光器的安装Confidential保证光学平台或辅助垫块清洁、平整，将激光器安装，具体参见OMP-0223DDPMI的安装保证光学平台或辅助垫块清洁、平整，将DPMI安装，具体参见OMP-0223D产品安装