MEMS传感器其应用分析.ppt

MEMS传感器及其应用 徐敏敏 池明敏 黄夏静 滕风辉 张晓雯 王春柱 余莉莉 周彦祺 黄钰葭 黄道 目录 1 引言 2.MEMS的发展历史 3.什么是MEMS传感器 4.MEMS传感器的特点 5.MEMS传感器的研究内容 6.MEMS在各个领域的应用 7.MEMS相关公司介绍 8.MEMS的封装 MEMS的发展历史 MEMS第一轮商业化浪潮始于20世纪70年代末80年代初，当时用大型蚀刻硅片结构和背蚀刻膜片制作压力传感器。由于薄硅片振动膜在压力下变形，会影响其表面的压敏电阻曲线，这种变化可以把压力转换成电信号。后来的电路则包括电容感应移动质量加速计，用于触发汽车安全气囊和定位陀螺仪。 　　第二轮商业化出现于20世纪90年代，主要围绕着PC和信息技术的兴起。TI公司根据静电驱动斜微镜阵列推出了投影仪，而热式喷墨打印头现在仍然大行其道。 　　第三轮商业化可以说出现于世纪之交，微光学器件通过全光开关及相关器件而成为光纤通讯的补充。尽管该市场现在萧条，但微光学器件从长期看来将是MEMS一个增长强劲的领域。 　　目前MEMS产业呈现的新趋势是产品应用的扩展，其开始向工业、医疗、测试仪器等新领域扩张。推动第四轮商业化的其它应用包括一些面向射频无源元件、在硅片上制作的音频、生物和