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工作原理:压电式传感器是基于某些介质材料的压电效应,是一种典型的有源传感器。 天然石英晶体外形 天然石英晶体外形 石英晶体的压电效应演示 当施加静态力时,在初始瞬间,产生于力成正比的电荷,但由于表面漏电,所产生的电荷很快泄漏,并消失; 当力的方向改变时,电荷的极性随之改变,输出电压的频率与动态力的频率相同。 压电式振动加速度传感器的结构及外形 压电加速度传感器的安装及使用 a)双头螺丝固定 b)磁铁吸附 c)胶水粘结 d)手持探针式 1—压电式加速度传感器 2—双头螺栓 3—磁钢 4—粘接剂 5—顶针 综合分析上述两种接法: 并联接法输出电荷大,本身电容大, 时间常数大,适宜用在测量慢变信号并且以电荷作为输出量的场合。 串联接法输出电压大,本身电容小,适宜用于以电压作输出信号的场合。 按压电元件受力和变形方式不同, 分为: (3)形变形式 厚度变形 剪切变形 体积变形 长度变形 压电式传感器也有非线性度。主要是传感器受力系统中力传递系数为非线性所致,即低压力下力的传递损失较大。 (4)非线性度 解决方法:加入预加力(预载) 压电元件在压电式传感器中,必须有一定的预应力,既保证了压电片的输出与作用力的线性关系,同时还可以消除传感器内外接触表面的间隙,提高刚度。 6.2 压电式传感器测量电路 由压电元件的工作原理可知,压电式传感器可以看作一个电荷发生器。同时,它也是一个电容器,晶体上聚集正负电荷的两表面相当于电容的两个极板,极板间物质等效于一种介质, 则其电容量为 : 6.2.1 压电式传感器的等效电路 式中: A——压电片的面积; d——压电片的厚度; εr——压电材料的相对介电常数。 压电传感器也可以等效为一个与电容相串联的电压源。 如图(b)所示。压电元件的开路电压: (a) 电荷源 压电传感器可以等效为一个电荷源,如图(a)所示。 (b) 电压源 实际中,压电传感器还要与测量仪器或测量电路相连接,因此还需考虑连接电缆的等效电容Cc,放大器的输入电阻Ri , 输入电容Ci以及压电传感器的泄漏电阻Ra。这样,压电传感器在测量系统中的实际等效电路如下图所示。 传感器的泄露电阻 电缆电容 输入电阻电容 电缆电容 传感器的泄露电阻 输入电阻电容 对于压电式传感器,输出微弱的电荷量,而且输出阻抗高达108Ω 以上。 6.2.2 压电式传感器的测量电路 测量电路的设计应做到以下两点: 放大传感器输出的微弱信号; 把它的高输出阻抗变换为低输出阻抗。 传感器作为信号源向后接电路输出代表被测量变化的信号。从输出端看,信号源代表的两个参数,一是信号的强弱,二是信号源的内部阻抗(即输出阻抗)的大小。输出阻抗的大小决定了传感器电路的结构形式。 因此测量电路通常需要接入一个高输入阻抗前置放大器。 1. 电压放大器 下图是电压放大器电路原理图。 由于压电传感器的输出可以是电压信号,也可以是电荷信号, 因此前置放大器也有两种形式: 电压放大器:其输出电压与输入电压(传感器的输出电压)成正比; 电荷放大器:其输出电压与输入电荷(传感器的输出电荷)成正比 电压放大器电路原理 在图(b)中,电阻R=RaRi/(Ra+Ri),电容C=Cc+Ci。由于ua=q/Ca,若压电元件受正弦力f=Fmsinωt的作用,则其电压为: 式中: Um——压电元件输出电压幅值,Um=dFm/Ca; d——压电系数。 由此可得放大器输入端电压Ui为 : . Ui的幅值Uim为: . 相位为: 在理想情况下,传感器的Ra电阻值与前置放大器输入电阻Ri都为无限大,即ω(Ca+Cc+Ci)R1,那么理想情况下输入电压幅值Uim则为 上式表明前置放大器输入电压Uim与频率无关,一般在ω/ω03时,就可以认为Uim与ω无关,ω0表示测量电路时间常数的倒数,即 当ω(Ca+Cc+Ci)R1 时,式中Cc为连接电缆电容,当电缆长度改变时,Cc也将改变,因而Uim也随之变化。因此,压电传感器与前置放大器之间连接电缆不能随意更换,否则将引入测量误差。 【注】: 压电式传感器不能用于静态测量。压电元件只有在交变力的作用下,电荷才能源源不断地产生,可以供给测量回路以一定的电流,故只适用于动态测量。 6.3 压电式传感器的应用 下图是压电式测力传感器的结构图,主要由石英晶片、 绝
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