精密和超精密加工技术 周杰 2010年3月 3.1 精密和超精密机床发展概况及典型机床简介 3.2 精密主轴部件 3.3 床身和精密导轨部件 3.4 进给驱动系统 3.5 微量进给装置 3.6 机床运动部件位移的激光在线检测系统 3.7 机床的稳定性和减振隔振 3.8 减少变形和恒温控制 精度指标 ? ◆ 主轴回转精度0.05μm◆ 溜板直线性0.1μm/100mm■ 机床规格 ? ◆ 溜板行程(X×Z)200mm×20mm◆ 加工件表面粗糙度(有色金属)Ra0.003μm◆ 平面度(直径50mm)μm0.1 第4节 进给驱动系统 三、滚珠丝杠副驱动 进给的驱动元件,滚珠在丝杠和螺纹槽内滚动,摩擦力小,且滚珠在螺母内有再循环通道。滚珠丝杠副要求正转和反转没有回程间隙,要求滚珠丝杠和螺母间有一定的预载过盈。精密级和高精密级滚珠丝杠的螺母常做成两段组合。为减小滚珠丝杠的径向圆跳动和轴向跳动对导轨直线运动的影响,采用螺母和工作台柔性连接,即螺母装在柔性的过渡连接块上再和工作台固定。 第4节 进给驱动系统 四、液体静压和空气静压丝杠副驱动 提高进给运动的平稳性。液体静压轴承的间隙大,气体静压轴承的间隙小。 第4节 进给驱动系统 五、
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