多晶硅业安全技术解析.ppt

本次安全培训课程的主要内容 一、多晶硅的性质和作用 二、生产过程中主要危险有害物质 三、各种多晶硅生产工艺简单介绍 四、多晶硅生产工艺的发展 五、工业硅生产技术 六、氢气的制备和净化 七、液氯的汽化工艺技术 八、氯化氢的合成 九、三氯氢硅的合成技术 十、三氯氢硅的提纯和精馏 十一、三氯氢硅的还原 十二、多晶硅产业政策简介 多晶硅，是单质硅的一种形态。熔融的单质硅在过冷条件下凝固时，硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核，如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒，则这些晶粒结合起来，就结晶成多晶硅。利用价值：从目前国际太阳电池的发展过程可以看出其发展趋势为单晶硅、多晶硅、带状硅、薄膜材料（包括微晶硅基薄膜、化合物基薄膜及染料薄膜）。 一、多晶硅的性质和作用 灰色金属光泽。密度2.32~2.34。熔点1410℃。沸点2355℃。溶于氢氟酸和硝酸的混酸中，不溶于水、硝酸和盐酸。硬度介于锗和石英之间，室温下质脆，切割时易碎裂。加热至800℃以上即有延性，1300℃时显出明显变形。常温下不活泼，高温下与氧、氮、硫等反应。高温熔融状态下，具有较大的化学活泼性，能与几乎任何材料作用。具有半导体性质，是极为重要的优良半导体材料，但微量的杂质即可大大影响其导电性。 电子工业中广泛用于制造半导体收音机、录音机、电冰箱、彩电、录像机、电子计算机等的基础材料。由干燥硅粉与干燥氯化氢气体在一定条件下氯化，再经冷凝、精馏、还原而得。 多晶硅可作拉制单晶硅的原料，多晶硅与单晶硅的差异主要表现在物理性质方面。例如，在力学性质、光学性质和热学性质的各向异性方面，远不如单晶硅明显；在电学性质方面，多晶硅晶体的导电性也远不如单晶硅显著，甚至于几乎没有导电性。在化学活性方面，两者的差异极小。多晶硅和单晶硅可从外观上加以区别，但真正的鉴别须通过分析测定晶体的晶面方向、导电类型和电阻率等。 　　 多晶硅是生产单晶硅的直接原料，是当代人工智能、自动控制、信息处理、光电转换等半导体器件的电子信息基础材料。被称为“微电子大厦的基石”。 二、生产过程中主要危险有害物质 ⑴氢气： 与空气混合能形成爆炸性混合物，遇热或明火即会发生爆炸。气体比空气轻，在室内使用和储存时，漏气上升滞留屋顶不易排出，遇火星会引起爆炸。氢气与氟、氯、溴等卤素会剧烈反应。 　 1766年，英国的物理学家和化学家卡文迪什用六种相似的反应制出了氢气，这些反应包括锌、铁、锡分别与盐酸或稀硫酸反应。同年，他在一篇名为“人造空气的实验”的研究报告中谈到此种气体与其他气体性质不同，而不认为是一种新的气体。他认为这是金属中含有的燃素在金属溶于酸后放出，形成了“可燃空气”。杰出的化学家拉瓦锡于1785年首次明确地指出：水是氢和氧的化合物，氢是一种元素。他将“可燃空气”命名为“Hydrogen”。它的元素符号为H。中文的“氢”字是采用“轻”的偏旁。把它放进“气”里面，表示“轻气”。 氢气在工业上有许多重要应用。在在化学工业中有：合成氨、石油裂解加氢、煤炭的加氢液化、油脂加氢固化、塑料合成、无机、有机精细化工合成、煤基合成油用氢等。 氢气属于二级能源，需要用另一种有效能源从水中制取。但由于它燃烧后生成水，不会污染环境，成为21世纪非常有前途的无污染能源之一。 ⑵氧气： 助燃物、可燃物燃烧爆炸的基本要素之一，能氧化大多数活性物质。与易燃物(如乙炔、甲烷等)形成有爆炸性的混合物。 　　 氧气是空气的组分之一，无色、无臭、无味。氧气比空气重，在标准状况（0℃和大气压强101325帕）下密度为1.429克/升，能溶于水，但溶解度很小。在压强为101kPa时，氧气在约-180摄氏度时变为淡蓝色液体，在约-218摄氏度时变成雪花状的淡蓝色固体。 ⑶氯： 有刺激性气味，能与许多化学品发生爆炸或生成爆炸性物质。几乎对金属和非金属都起腐蚀作用。属高毒类。是一种强烈的刺激性气体。 　 因为氯气的化学活泼性使得它的毒性很强，可损害全身器官和系统。它的毒性远远大于硫化氢气体。少量氯气可以引起呼吸道困难，刺激咽喉、鼻腔和扁桃体发炎，导致眼睛红肿、刺痛、流泪，能引起胸闷和呼吸道综合症，激发哮喘病人呼吸发生困难，甚至休克。氯气进入血液可以同许多物质发生化合作用，引起神经功能障碍，杀伤和破坏血细胞，应引起盗汗、头痛、呕吐不止、肠胃痉挛、肝脏受损等。严重者可致全身性水肿，电解质失衡。氯气还对皮肤、衣物等具有强烈腐蚀和损毁