无定型保护层概念.ppt

马慧媛 Date:2015/5/8 无定形TiO2薄膜保护层使光电阳极免受腐蚀 Amorphous TiO2 coatings stabilize Si, GaAs, and GaP photoanodes for efficient water 研究背景 利用光电化学的方法分解水得到氢气燃料 光电阳极使用Si,、GaAs（砷化镓） GaP（磷化镓） 光吸收的材料（如硅、砷化镓）很容易受到水溶液的腐蚀而丧失原有功能 金属防护层不稳定；透明导电氧化物(TCO)涂料电压低 研究过程 原子沉积 加上镍合金层 考虑退货与未退火 100小时后的效率 使用EDS、SIMS等方法测试 可延伸到其他材料 　由TiO2薄膜保护的镍氧化物岛在硅上的扫描电子显微镜（SEM）图像 TEM和EDS图像 无定型TiO2优点 漏电功能 半导体免受腐蚀 传递光源 薄膜TiO2 透明 未退火 原子电沉积 均匀无针孔 结论 原子沉积的无定型TiO2是高效的防护屏障，由于是“漏电TiO2”膜的厚度在4-143 nm 之间，它能够在保持透明的前提下，保持好的导电性，保护半导体免受水溶液的腐蚀 A B Thank you!