真空技术基础试题.ppt

真空技术基础FUNDAMENTAL VACUUM TECHNOLOGY 2 “真空”这一术语译自拉丁文Vacuo，其意义是虚无。 真空应理解为气体较稀薄的空间。在指定的空间内，低于一个大气压力的气体状态统称为真空。 自然真空：宇宙空间所自然存在的 人为真空：人类利用真空泵抽取所获得的 绝对真空：完全没有气体的空间状态 相对真空：气体稀薄，分子数较少的状态 真空状态下气体稀薄程度称为真空度，通常用压力值表示。 真空 （VACUUM） 3 真空技术的发展历史 最早的真空获得和应用，可追溯到公元前六世纪，我国炼铁技术就相当进步，为了熔化铁，在炼铁炉上配有鼓风设备。最初使用的叫“鞲[gōu]?”的皮囊鼓风、“风箱”鼓风。 还有更为典型的例子是中医的拔火罐。两千年前，它已在我国民间用作治病的工具。它很好地利用了空气热胀冷缩、蒸汽冷凝等物理现象来形成罐内真空。 4 历史上有确切记载获得“真空”的却是欧洲人。1643年，意大利人托利拆里(Torricelli,Evangelista,1608-1647)做了大气压实验。他用一根一端封闭的细长玻璃管和一个盛水银的小槽，先将水银从玻璃管开口端灌入，直到灌满全管。然后压住开口，将玻璃管倒立在水银槽内，再打开压住的开口。此时玻璃管中的水银高度逐渐下降，直到距离小槽液面以上760毫米时，就不再下降了。 5 1654年德国人葛利克发明了活塞真空泵。他为了证明大气压的巨大力量，曾做过一次公开实验,他用两个直径119厘米的半球合起来，用真空泵将球内空气抽除，因而求得的表面上所受大气压是很大的横向分力，每个半球用8匹马，才能向相反方向拉开。因为该实验在德国马德堡做的，故被称为马德堡半球实验而闻名于世。 6 1905年德国盖得发明了机械泵，1906年皮拉尼发明热阻真空计；之后，盖得又于1913年和1915年先后发明了分子泵、扩散泵；1916年贝克利发明了热阴极电离计。 盖德 发明的机械泵 盖德发明的分子泵 7 真空技术迅速从低真空发展到高真空，高真空技术的发展势头一直延续到第二次世界大战。尤其是希克曼1936年发明了油扩散泵，潘宁1937年发明了冷阴极电离计，使得高真空技术在获得和测量两方面基本上已完善。直到今天，这些发明还运用在多数真空系统上。 现代的有扩散泵 8 今天的真空技术，已能获得和测量从大气压（105pa）到10-13pa，压力范围达18个数量级，并随着某些新应用的开拓而要求一步步地接近“理想真空”。 今天的真空技术： 105pa～ 10-13pa 9 真空技术的应用领域 电子技术、航空航天技术、加速器、表面物理、微电子、材料科学、医学、化工、冶金、日常生活等各个领域。 （电子管、电视管、加速器、电子显微镜、镀膜、杜瓦绝热） 需要真空系统的微加工设备：电子束光刻设备，热CVD，镀膜设备，热处理设备等等 10 真空量度单位 1标准大气压=760mmHg=760Torr 1标准大气压=1.013x105 Pa 1Torr=133.3Pa 1mbar=100Pa 11 12 单位 帕/Pa 托/Torr 毫巴/mbar 标准大气压 1Pa 1 7.5×10-3 1× 10-2 9.87× 10-6 1Torr 133.3 1 1.333 1.316 ×10-3 1mba 100 0.75 1 9.87× 10-4 1atm 1.013 × 105 760 1.013 ×103 1 真空（压强）单位 真空度和压强 压强越低，真空度越高；压强越高，真空度越低。 国际单位：帕斯卡（Pascal） Pa 常用单位：托（Torr） 毫米汞柱（mmHg） 巴（bar） 标准大气压（atm） 压力范围和真空泵 真空度可分为： 气流种类 真空状态 真空压力 特性分析 应用范围 黏滯流(Viscous flow) 初真空： 10 Pa~105 Pa 10 Pa~105 Pa 气体分子间因黏滯力作用，气体运动有方向性，此方向与抽气方向相同 工业应用（包装） 過渡流(Transition flow) 中真空： 10-2 Pa~10 Pa 10-2 Pa~10 Pa 真空度在10-6Torr以内时，水汽占70%-90% CVD沉积技术 分子流(Molecular flow) 高真空： 10-2 Pa~10-6 Pa 气体分子跟管壁间碰撞教分子间碰撞多。气体分子间随意运动方向。 溅射沉积技术 超高真空： 10-6Pa~10-10Pa 原子表面和界面分析 极高真空： 10-10Pa 10-9 Pa 月球大气压强 ，10-15Pa 星际空间压强 13 超高真空 超高真空为得到超纯的或精确掺杂的镀膜或分子束外延生长晶体创造了必要的条件，这促进了