半导体制程技术.doc

萬能科技大學九十四學年度第一學期課程綱要表 一般及專業理論課程綱要表 教學單位 工程 學院 中心 化工與材料工程 系 所 科目名稱 半導體製程技術 學分數 2 科目英文名稱 Technology of Semiconductor Manufacture Process 每週時數 2 課程屬性（複選） 1.基礎█ 2.進階□ □ 必修 內容百分比 1.理論（60 %） 2.實務應用（ 40 %） 1.理論□ 2.實務█ █ 選修 師資背景及 專長、著作、證照 學士、碩士、博士 學位專長 姓名：楊勝俊 職稱：助理教授 1.台灣大學化學所博士 2.台灣大學化學所碩士 3.淡江大學應用化學系 4.專長:天然物化學、感光高分子、光阻劑配方 先修科目或先備能力：普通化學、有機化學 教 學 目 標 就知識、技能、態度、其他等項敘述之 利用課堂講解書本相關半導體知識與製程，並配合業界相關實務照片以互相印證提高學習意願，以達到訓練未來就業之能力 教材大綱：利用書本內規劃之製程章節，已深入簡出之投影片資料來教授半導體相關製程與其應用 單元主題 內容綱要 教學參 考節數 備註 積體電路生產簡介 半導體材料基礎半導體晶圓製造半導體薄膜製程技術半導體微影製程技術半導體蝕刻製程技術 本課程主要教授內容以教授半導體材料相關原理、晶圓製造過程、電晶體相關製程與先進半導體製程 2 4 2 2 4 4 4 2 2 2 2 2 教學方式 採用多媒體教學 成績評量方式 平時成績:30%;期中考成績:30%;期末考成績:40% 教材 書名：半導體製程技術導論 作者：蕭宏 出版商：歐亞書局 學生限額 60 檢核項目 是否符合 1.是否將科目名稱、上課時數及學分數填入本表。 2.是否將教學目標、綱要名稱或單元名稱填入本表。 3.所填入的行業知能是否有考慮學生學習的順序性、邏輯性、連貫性、完整性。 4.除了表B6所敘述的行業知能，是否有考慮到其他的知能，以成為一門完整學科。 是█ 否□ 是█ 否□ 是█ 否□ 是█ 否□ 校長： 教務長 ： 教學單 位主管 ： 填表人：楊勝俊