9-用椭园偏振仪测量透明薄膜.docVIP

实验九 用椭圆偏振仪测量透明薄膜厚度和折射率 椭圆偏振光测量方法是一种光学薄膜参数测量常用的专门方法。这种方法早在1930年就已经产生，因为当时计算技术的限制，所以发展较慢。随着计算机的出现及计算技术的发展，现已得到了广泛的应用。它可以测量介质膜、有机膜、半导体膜的折射率、消光系数、厚度等。而且这种方法测量精度高，对样品表面无损伤。对超薄膜（可达10 ?以下）同样具有很高的灵敏度。如果椭圆偏振仪的起偏器和检偏器回转角有0.01度的精度时，则膜厚0.07 ?的变化也可能被检测出来。所以在薄膜物理及固体物理研究中，它都是一种有效的方法。 【实验目的】 了解偏振法测量薄膜参数的基本原理。 了解激光椭圆偏振仪的结构，学会正确的调节和使用。 用椭圆偏振仪测量透明薄膜的厚度和折射率。 【实验原理】 若有一偏振光在样品表面反射，如图（1），我们可以将其分解成为在二个互相垂直方向上的分量波：振动面平行入射面的线偏振光称P波，振动面垂直入射面的线偏振光称S波。 图1 在界面1和界面2 菲涅尔反射系数分别为： (1) (2) (3) (4) 其中n。为空气折射率（n。=1.0），n为膜折射率，ns为衬底折射率（可以是复数折射率）θ。为入射角。θ。、θ1、θ2有如下关系： (5) 而相邻两反射光之间的光程差为： (6) 上式中d为薄膜的厚度，因此相邻两反射光的位相差为： (7) 根据（5）式可得： (8) 上式中λ是光在真空中的波长，d为膜层厚度。由此可知，在入射角θ。确定的条件下，位相差仅依赖于膜的厚度d。 从图（1）可以知道，总反射系数实际上是多光束干涉结果。根据斯托克斯倒逆关系有： （分别是光从界面2射向1时的反射系数和透射系数） 总反射系数为： （9） (10) 为使理论分析和实验测定方便，我们在椭偏法中定义； (11) 即： (12) (13) 上式中tgθ是相对振幅衰减，Δ是P波和S波间的位相差经系统反射后发生的变化。 由（1）式知，ρ是入射媒质折射率、膜层折射率和厚度、基片折射率、入射角、波长的函数。即： 上式中除n.d是未知外，其余都是已知的。所以只要确定θ、Δ后，就可以解出n.d。而θ、d和折射率n。当我们选定入射角θ。、光波波长（如氦氖激光波长入=6328 ?），薄膜衬底折射率ns这三个参量，则就可以由θ和Δ这二个方程解出d和n。实际上由tgθ和Δ求解n和d的过程是十分复杂的，甚至得不到清晰的表达式。所以要通过计算机来求解。而现在已经有人做了这工作，用计算机求解列表，实验中只要测定θ和Δ后在表上查一下即可得出对应的n和d。 椭圆偏振仪测量椭偏状态变化参数θ和Δ从原理上有二种类型，一类是消光型，即以寻求输出最小光强位置为主要步骤的椭偏仪。另一类是光度型、以测定、分析输出光强度变化为目的的椭偏仪。而我们所用的是属于消光型椭偏仪。其光路如图（2） 1. 起偏器P 2.1/4波片Q 3.检偏器A 4.白屏 5.被测膜层S 6.基片（材料kg） 图2 内腔式氦氖激光器发出波长为6328 ?的激光束，该光束经起偏器后变成线偏振光，偏振光的偏振方向由起偏器方位角决定，转动起偏器可以改变光束的偏振方向。该线偏振光经过波片后，由于晶体双折射现象o光和e光产生相差，二者的偏振方向互相垂直（对正晶体波片、o光沿快轴方向偏振，e光沿慢轴方向偏振，对负晶体波片，则相反），所以o光e光合成为椭圆偏振光，椭园偏振光的椭圆长短轴沿着波片的快慢轴，而椭圆形状（椭圆率）由射入波片的线偏振光的偏振方向决定。当椭圆偏振光以一定的入射角（本实验以70°角入射）射到样品