Helicon Plasma07研讨.docVIP

Helicon Plasma 何谓Helicon [Helicon原意] 指大型螺旋形状大号，需要扛在肩上吹。 [Helicon在等离子体中意义] 是一种波的名称,电场矢量在空间绕传播方向螺旋旋转。 在平面上： Helicon波处于哨声波的低频段，与ECR等离子体中的电子回旋波同属一支。 频率范围: 中文音译名：赫利孔波 Helicon 等离子体源结构： [问题] helicon plasma 由电子回旋共振产生？ Helicon产生：（1）振荡电磁场 激励电源频率：几MHz-----几十MHz （2）直流磁场 磁场：几十高斯---几百高斯 典型天线类型 (a)环形天线 (b)半匝天线 （c）名古屋III型 （d）半螺旋形 （e）双马鞍形（Bosewll） （f）平面螺线 3. Helicon plasma 的重要特性 三个放电模式 E—H—W Ne—Prf 不同放电模式的Ne径向分布 径向密度分布峰化 缺点： 不同模式的波状态 磁场强度对密度的影响 物理原因：----等离子体产生机制----电子加热机制 朗道加热。 放电的轴向分布 电磁场 [比较] ICP 和Helicon 的轴向分布 n↑----- kk//↑ ---- ↓ Helicon 源轴向尺寸对波模、密度的影响 Cavity mode [解释] Helicon plasma 中所能激发的波长与密度和磁场有关，波实际上能否存在和边界条件有关。 Helicon 密度记录：8.0X1013 ( 美国，F.F.Chen) [Helicon plasma 中性气体耗尽] Helicon plasma 高密度原因： E与 鞘层电压降有关。鞘层电压降↓，E↓。 磁场约束 ----降低损失流强。 鞘层电压小，单个逃逸粒子的损失能量E小。 [] 大面积Helicon plasma源设计方法。 大面积的单源设计困难 磁场：大半径---- ---- 大电磁线圈 [永久磁钢？] 密度峰化：单源难以均匀 均匀化方法： 利用扩散 单源阵列 Helicon 的应用 半匝天线 半螺旋形天线