扫描电镜 第一、二章研讨.pptVIP

场发射电子枪： 冷场发射：阴极在室温和高真空环境中，完全由于高压电场产生的电子发射过程。冷场发射的W单晶是310取向，310取向的逸出功最小：4.2eV。 优点： 冷场发射的电子束直径小、发射电流密度高，亮度为108，能量扩展优于热场发射，冷场分辨率略高于热场发射SEM，特别是低压，由于色散小提高了分辨率。 缺点： 束流不稳定，随着时间延长，灯丝上会吸附气体分子，导致发射电流降低,需要做flash，发射面积较小, 可配EDS和灵敏度高的EBSD ，对WDS、CL等不佳 肖特基场发射电子枪 肖特基场发射：在高真空环境中，用高压电场和高温使阴极尖端产生的电子发射过程。 肖特基场发射阴极要加热到约1580℃。肖特基场W阴极单晶尖端为100取向，表面有一层氧化锆，以降低电子发射的功函数。钨尖常年加热，氧化锆层会消耗，通常2年需要更换。 优点： 束流大（亮度为108 ）、束流稳定、 可以连续工作。一般半导体工厂在线检测都用热场发射SEM。 多功能分析：可配EBSD、WDS、EDS、CL等附件。 SEM中的磁透镜 SEM中的磁透镜用作聚光镜、物镜，就是将cross-over的电 子像缩小为样品上的最终 束斑直径（1-20nm）。 SEM中使用的电磁 透镜，产生的是轴旋转 对称的非均匀磁场，形 成会聚场。 如图：Hr和Hz合成磁场作用，使电子在穿过透镜中心孔时被旋转聚焦，会聚于光轴上，这与光学透镜类似。 无象差时样品上的束斑直径假如认为不存在象差，最终束斑的亮度仍应等于亮度β 最终束斑电流密度为： 但电子束斑成高斯分布，无象差时探针直径（高斯直径）： 电子光学系统中的象差 1.球差：在透镜磁场中，球差是由于远离光轴运动的电子比近轴区域运动的电子受到更强的偏转的缘故。 2.色差：电压E0的变化或者磁场强度Ｈ的波动都会改变物点出射电子的聚焦点位置。 ３.衍射差：电子波动和物镜光阑引起的衍射效应造成的。 ４.象散：是由于物镜的磁场不是完全的轴对称做引起的。 有效束斑直径 dP=(dk2+dS2+dC2+dd2) ? ds是球差、dc是色差、dd是衍射差 扫描电镜中几种物镜的设计 传统扫描电镜物镜 浸没式物镜 半浸没式物镜 复合物镜 （磁透镜+静电透镜） 小结 电子光学系统的设计，要保证电子束的尺寸尽可能的小，且能获得最大亮度。透镜要求有极小的象差。但是透镜成像均有缺陷，这就是象差的概念。电磁透镜主要有球差、色差、衍射差、象散四种。 扫描电子显微分析技术 2015年3月 李凡庆 概述 先进材料 新兴科学技术的基础 结构 材料研究 形貌 微区成分 EM是解决这些问题的主要手段 仪器类型 可分析样品 功用 TEM 小颗粒，薄样品 结构ED；形貌；微区分析 HREM 高分辨TEM 分辨率可达0.1nm,微区分析小于1nm的 SEM 颗粒，块体 形貌；微区成分分析；表面结构分析（EBSD） AFM STM 表面原子级观察 原子分子操纵加工；物性测量 Scanning Electron Microscope -------SEM Electron Probe Micro Analyzer-------EPMA SEM和EPMA都用一束精细聚焦的电子束照射检测的区 域，电子束和样品发生相互作用，产生各种信号：俄歇电子、二次电子、背散射电子、阴极荧光、特征X射线等， 可用来研究样品的许多性质，如形貌、成分、晶体结构等。 SEM+EDS 相互功能渗透 EPMA+扫描系统+成像系统 扫描电镜的应用范围 1、金属、陶瓷、矿物、水泥、半导体、纸张、塑料、食品、 农作物和化工产品的显微形貌、晶体结构和相组织的观察与分析。 2、各种材料微区化学成分的定量检测。 3、粉末、微粒、纳米样品形态观察和粒度测定。 4、机械零件与工业产品的失效分析。 5、镀层厚度、成分与质量评定。 6、刑侦案件物证分析与鉴定。 7、新材料性质的测定和评价。 8、在生物、医学和农业等领域也有广泛的应用。 9、微纳加工的观察。