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共焦测量实验 院系：理工学院08级光信息2班 实验人：郝玉祥 学号 合作人：肖传晓、雷名威 组别：B12 【实验目的】 了解共焦成像原理及其测量特点； 掌握用共焦成像法测量物体表面的平整度； 了解激光共焦测量的应用场合。 【实验用具及装置】 实验装置图如图2： 图2 实验装置示意图 1－激光器 2－小口径衰减器 3－定向孔 4－反射镜 5－反射镜 6－扩束镜 7－滤波孔 8－反射镜 9－准直透镜 10－分光棱镜 11－成像透镜 12－可调光阑 13－CCD 14－物镜透镜 15－多功能试件夹及组合微动平移台（可横向和纵向移动） 共焦成像时，激光经6，9扩束、准直，经分光棱镜10后由物镜14聚焦于样品上，由样品反射的光束经过物镜14恢复成平行光，透过分光棱镜10后由成像透镜11聚焦于CCD上，通过计算机上的相关软件可观察到在CCD上形成的弥散斑图像。当样品偏离物镜焦点位置时，弥散斑圆直径将发生变化，经程序计算，实现定量检测。 【实验内容及步骤】 1.测量样品离焦量与光斑直径关系曲线（即定标） (1) 打开电脑，双击桌面上的“csylaser”图标，即打开与实验配套的测量软件，实验类别选择“D-共焦计量测试”。 (2) 打开实验仪电源，把激光器后面的电源开关拨到III档使之起辉，待出射光稳定，重新拨回I档。 (3)按照光路图调节光路。 调节反射镜8的高低、俯仰角度和准直透镜9的高度，使光束垂直通过准直透镜9的中心；调节分光棱镜10使光束通过10的中心并垂直于与光束相对的外表面；将分光镜的反射面相对于图2中位置旋转90°，放一张白纸在分光镜后，在较长距离内前后移动白纸，若打在纸上的光般大小不变，说明反射镜8处在准直透镜9的焦面上，即透过9的光已是准直的平行光。为了得到更精确的且高度适中的平行光,还得调节扩束透镜6， 调节成像透镜11，使由分光棱镜反射的光垂直入射透镜中心；调节小孔光阑和CCD的高度，使光束从小孔中间通过正入射CCD中心。这时计算机上将显示一个圆散斑，调节衰减器2，使圆散斑不至于太亮也不要太暗。 调节CCD的前后位置，使之处于成像透镜11的焦面上。调节过程中可用白纸放在CCD前观察光斑大小（焦面处光斑最小），同时观察计算机上显示的散斑大小及光斑半径的数据，当光斑半径最小时，CCD即处在成像透镜的焦面上。使小孔光阑尽量靠近CCD。 将分光棱镜拨回图2所示的位置，使反射光经过物镜14；把平面反射镜装到试件架上，反射镜两边与试件架接触处垫两张纸片，以防固定时拧得过紧损坏平面镜。转动微动平移台的纵向调节螺杆，调节反射镜的前后距离，使之处于物镜14的焦面上。调节时，观察计算机显示的散斑大小，当反射镜处于物镜14的焦面上时，显示的光斑半径最小且光斑最亮。这是因为当平面镜偏离焦点位置时，平面镜反射的光经过物镜后就不是平行光了，也就不能成像于透镜11的焦面位置（即CCD所在处）了，因而不能形成共焦成像。 2. 测量及评价金属片表面平整度 从样品架上取下平面反射镜，换上待测的金属片，保持纵向距离不变，调节微动平台的横向螺杆，使光束对金属片表面进行横向扫描。每隔0.05mm记录一组横向位移和对应的光斑半径的数据并填入表2。 根据上面得到的定标曲线计算每个光斑半径对应的离焦量，作出离焦量随横向位移的变化曲线。计算PV值和RMS值，对样品表面平整度作出评价。 【实验过程】 14:30~15:00 熟悉仪器，了解实验内容 15:00~15:30 调节实验光路，使光斑在CCD中心 15:30~16:00 放上反射镜，调节千分尺进行定标，并记录数据约10组 16:00~16:30 定标结束，放上金属片，调节左右移动的千分尺，并记录数据 17:30 收拾仪器，结束实验 【实验数据分析】 光斑直径与离焦量之间关系曲线的测量 按内容1中的实验步骤（1）、（2）、（3）、（4）进行实验。测得的实验数据如表1所示： 表1 离焦量r 像素 1 2 3 4 5 平均值 8.46 0.165 135.99 136.02 135.96 135.97 135.04 135.796 8.505 0.12 126.82 127.09 127.12 127.84 127.02 127.178 8.535 0.09 115.26 115.24 115.76 115.95 115.53 115.548 8.575 0.05 103.17 103.25 103.64 103.74 103.83 103.526 8.605 0.02 94.94 94.92 9