传感器实验指南(12电气工程)_修改版剖析.docVIP

《传感器与检测技术》实验指南 传感器与检测技术实验室 实验指导老师：徐华结 适用班级：12电气工程及其自动化 目 录 实验一 压阻式压力传感器的特性测试实验 2 实验二 电容传感器的位移特性实验 5 实验三 直流激励线性霍尔传感器的位移特性实验 9 实验四 电涡流传感器材料分拣的应用实验 12 实验五 光纤传感器位移测量实验 14 实验一 压阻式压力传感器的特性测试实验 一、实验目的 了解扩散硅压阻式压力传感器测量压力的原理和标定方法。 二、实验内容 掌握压力传感器的压力计设计。 三、实验仪器 传感器检测技术综合实验台、压力传感器实验模块、压力传感器、导线。 四、实验原理 扩散硅压阻式压力传感器的工作机理是半导体应变片的压阻效应，在半导体受到力变形时会暂时改变晶体结构的对称性，因而改变了半导体的导电机理，使得它的电阻率发生变化，这种物理现象称之为半导体的压阻效应。一般半导体应变采用N型单晶硅为传感器的弹性元件，在它上面直接蒸镀扩散出多个半导体电阻应变薄膜（扩散出敏感栅）组成电桥。在压力（压强）作用下弹性元件产生应力，半导体电阻应变薄膜的电阻率产生很大变化，引起电阻的变化，经电桥转换成电压输出，则其输出电压的变化反映了所受到的压力变化。图13-1为压阻式压力传感器压力测量实验原理图。 图1-1 压阻式压力传感器压力测量实验原理 五、实验注意事项 1、严禁将信号源输出对地短接。 2、实验过程中不要带电拔插导线。 3、严禁电源对地短路。 六、实验步骤 1、将引压胶管连接到压力传感器上，其他接线按图1-2进行连接，确认连线无误且打开主台体电源、压力传感器实验模块电源。 图1-2 压阻式压力传感器的特性测试实验接线图 2、打开气源开关，调节流量计的流量并观察压力表，压力上升到4Kpa左右时，根据计算所选择的第二级电路的反馈电阻值，接好相应的短接帽；再调节调零电位器RW2，使得图1-3中Vx与计算所得的值相符；再调节增益电位器RW1，使电压表显示为0.4V左右。（进行此步之前，请先仔细阅读：七、实验报告要求） 3、再仔细地反复调节流量使压力上升到18KPa左右时，根据计算，电压表将显示1.8V左右。 4、重复步骤2和3过程，直到认为已足够精度时调节流量计使压力在4~18KPa之间，每上升1Kpa气压分别读取电压表读数，将数值列于表3。 表3 P（Kpa） Vo(p-p) 5、画出实验曲线。 6、实验完毕，关闭所有电源，拆除导线并放置好。 七、实验报告要求 1、要求：当压力为4Kpa时，使得差分放大单元的电压输出为0.4V；当压力为18Kpa时，使得差分放大单元的输出为1.8V。 图1-3 压力传感器测试电路 2、当压力为4Kpa时，测得压力传感器的输出电压Vout与GND间的电压Va；当压力为18Kpa时，测得压力传感器的输出电压Vout与GND间的电压Vb；然后根据图1-3列式进行计算，在第二级放大电路的反馈电阻（10K、20K、51K、100K）中，用跳线帽选择一个合适的反馈电阻。再根据所选择的反馈电阻，确定V1和Vx的值，便于实验。具体计算公式如下： 当压力为4Kpa时： 当压力为18Kpa时： 其中：V1、V1’分别为4Kpa和18Kpa时三运放的输出电压，Vx为调零电位器RW2端的电压；x为RW1所需调到的阻值，R为第二级放大电路的反馈电阻。 3、计算完后，先根据所选择的第二级放大电路的反馈电阻值，接好短接帽，然后再根据计算的电压值V1和Vx分别调节调节电位器RW1和RW2。 实验二 电容传感器的位移特性实验 一、实验目的 了解电容传感器结构及特点。 二、实验内容 掌握电容传感器的基本应用。 三、实验仪器 传感器检测技术综合实验台、电容传感器实验模块、电容传感器、振动源实验模块、示波器、导线。 四、实验原理 1、电容传感器是以各种类型的电容为传感元件，将被测物理量转换成电量的变化来实现测量的。电容传感器的输出是电容的变化量。利用电容C=εA/d的关系式通过相应的结构和测量电路可以选择ε、A、d。三个参数中，保持二个参数不变，只改变其中一个参数，则可以有测干燥度（ε变）、测位移（d变）和测液位（A变）等多种电容传感器。电容传感器极板形状分成平板、圆板形和圆柱形，虽然还有球面形和锯齿形等其它的形状，但一般很少用。本实验采用的传感器为圆筒式变面积差动结构的电容式位移传感器。差