09气电式传感器详解.ppt

传感器 * 第九章 气电式传感器 原理：气动测量+气电转换 结构组成： 气动量仪（关键部件：气动测头）＋气电转换部件 第九章 气电式传感器 被测量（尺寸大小） 气压变化 气流量变化 电信号 * 气电转换方式：电触式、光电式、电感式、电容式、压阻式 优点：非接触测量，测量精度高，可以进行两个尺寸差值、平均值以及复杂形状综合参数测量。 缺点：需要净化的恒压气源，对稳压气源较难获得；动态响应时间比较长（约0.2～1s），限制了检测速度。 * 第一节 气动测量的原理 气动测量原理：把被测尺寸量的变化转换为气室中压力的变化或管路中流量的变化。 气动测量分类：压力式气动测量、流量式气动测量。 * 一、压力式气动测量原理 工作过程： 净化和稳压气体以工作压力Pg送入管路1，通过进气喷嘴2和气室4后，由测量喷嘴5喷入大气。 测量喷嘴与它前面的挡板或工件6之间的间隙变化时，代表了工件尺寸的变化，z越小，气室内压力Pc越大。 * 二、流量式气动测量原理 * 第二节 气动测头 测头包括测量喷嘴，就是测量时感受被测几何量变化的机构。 种类： 按测量方式不同，分为非接触式和接触式两类； 按其结构原理来分，有喷嘴挡板和阀式。 * * 一、喷嘴挡板结构 五种结构形式：平行式、不平行式、反射式、负压式和喷射式。 平行式：喷嘴为平端面，挡板是被测构件的平面。当喷嘴固定，被测构件