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扩散工艺江苏林洋新能源有限公司 1 概述 2 扩散基本原理 3 扩散基本工艺 4 扩散后硅片检验 5 安全注意事项 目 录 1.1 太阳能电池片生产工艺流程 分选测试 PECVD 一次清洗 二次清洗 烧结 印刷电极 等离子刻蚀 检验入库 扩散 概述 1.2 扩散工艺的目的 概述 在P（N）型衬底上扩散N（P）型杂质形成PN结。 达到合适的掺杂浓度ρ/方块电阻R□ P型衬底 1.3 PN结的制造 概述 制造一个PN结并不是把两块不同类型（p型和n型） 的半导体接触在一起就能形成的。 必须使一块完整的半导体晶体的一部分是P型区 域，另一部分是N型区域。 也就是在晶体内部实现P型和N型半导体的接触 。 2.1POCl3简介 扩散基本原理 太阳电池磷扩散方法 １．三氯氧磷（POCl3）液态源扩散 ２．喷涂磷酸水溶液后链式扩散 ３．丝网印刷磷浆料后链式扩散 POCl3是目前磷扩散用得较多的一种杂质源 无色透明液体，具有刺激性气味。如果纯度不高则呈红黄色。 比重为1.67，熔点2℃，沸点107℃，在潮湿空气中发烟。 POCl3很容易发生水解，POCl3极易挥发。 2.2 磷扩散的基本原理 i POCl3在高温下（600℃）分解生成五氯化磷（PCl5）和五氧化二磷（P2O5），其反应 式如下： 生成的P2O5在扩散温度下与硅反应，生成二氧化硅（SiO2）和磷原子，其反应式如下： 扩散基本原理 由上面反应式可以看出，POCl3热分解时，如果没有外来的氧（O2）参与其分解是不 充分的，生成的PCl5是不易分解的，并且对硅有腐蚀作用，破坏硅片的表面状态。但 在有外来O2存在的情况下，PCl5会进一步分解成P2O5并放出氯气（Cl2）其反应式如 下： 2.2 磷扩散的基本原理 ii 扩散基本原理 生成的P2O5又进一步与硅作用，生成SiO2和磷原子，由此可见，在磷扩散时，为了 促使POCl3充分的分解和避免PCl5对硅片表面的腐蚀作用，必须在通氮气的同时通入 一定流量的氧气 。 在有氧气的存在时，POCl3热分解的反应式为： POCl3分解产生的P2O5淀积在硅片表面，P2O5与硅反应生成SiO2和磷原子，并 在硅片表面形成一层磷-硅玻璃，然后磷原子再向硅中进行扩散 。 POCl3液态源扩散方法具有生产效率较高，得到PN结均 匀、平整和扩散层表面良好等优点，这对于制作具有大 面积结的太阳电池是非常重要的。 2.3 影响扩散的因素 扩散基本原理 管内气体中杂质源的浓度 扩散温度 扩散时间 3.1 扩散流程 扩散基本工艺 通源 进炉 清洗 装片 通氧气 稳定 升温 吹氮 饱和 出炉 卸片 检验 3.2 清洗和饱和 扩散基本工艺 清洗 初次扩散前，扩散炉石英舟首先连接TCA装置，当炉温升至设定温度，以设定 流量通TCA清洗石英管。清洗结束后，将石英管连接扩散源瓶，待扩散。 [ 清洗开始时，先开O2，再开TCA；清洗结束后，先关TCA，再关O2。] 饱和 如果不连续生产,则每天正式生产前，须对石英管进行饱和,即正式的扩散工艺, 把石英舟放入石英管,进行一次扩散。炉温升至设定温度时，以设定流量通小N2 （携源）和O2，使石英管饱和，设定时间结束后，关闭小N2和O2。 [ 初次扩散前或停产一段时间以后恢复生产时，需对石英管及石英舟进行饱和。] 3.3 升温和装片 扩散基本工艺 升温 打开大N2,调节气体流量到指定数值,然后开始使炉子升温,升到指定温度.装片整个扩散全过程中(从升温到出炉)一直通大氮. 装片 戴好防护口罩和干净的塑料手套，将清洗甩干的硅片从传递窗口取出，放在洁净台上。用石英吸笔依次将硅片从白片盒中吸出插入石英舟。双面扩散一个槽插入一片；单面扩散一个槽插入背靠背两片(RENA制绒的注意亮暗面)。 3.4 进炉、稳定和通氧 扩散基本工艺 进炉 用舟叉将装满硅片的石英舟放在碳化硅浆上，保证平稳，由步进电机缓缓推入扩散炉 。 稳定 稳定炉管,使炉管内达到充分饱和。也相当于在升温。 通氧气 稳定好后,打开氧气，其流量调节为工艺指定数值。 3.5 通源、吹氮至出炉 扩散基本工艺 通源（POCl3） 通氧指定时间后(保持通氧到扩散结束),打开小氮，小氮是携带扩散源的气体,调节其流量为工艺设定数值。 注意:小氮的气体压力不能超过3.5KG,我们控制在2KG以下. 吹氮 通源指定时间后,关闭氧气和小氮,只通大氮。也叫驱入。 出炉 冷却后检验 检验合格后卸片，不合格返工 4.1 扩散后检验 扩散后硅片检验 外观检验： 1.色泽 表面颜色均匀，无偏磷酸滴落 2.物理 对崩边缺口等机械缺陷的控制 3.弯曲度 方块电阻检验： 每炉中从炉口至炉尾均匀取6片扩散后的硅片，用四探针测试仪测量方块电阻，记录下测量数据.单晶扩散方块电阻