6.第六章扫描电子显微镜解说.pptVIP

Mg-1.0Ca固溶时效后沿晶断裂断口 Mg-0.5Ca固溶时效后沿晶+解理断口 （1）背散射电子形貌衬度特点 背散射电子能量较高，多数与入射电子能量相近。在老式扫描电镜中通常共用一个检测器检测二次电子和背散射电子，通过改变检测器加电情况，可实现背散射电子选择检测，由于背散射电子基本上不受收集栅电压影响而直线进入探测器，所以有明显的阴影效应，呈像时显示很强的衬度，但会失去图像的许多细节。如图。 第五节 原子序数衬度原理及其应用 一、背散射电子衬度原理及其应用 用背散射电子信号进行形貌分析时，其分辨率远比二次电子低，主要是因为背散射电子是在一个较大的作用体积内被入射电子激发出来，成像单元大。 新式扫描电镜有专门的背散射电子检测器，如图： （2）背散射电子原子序数衬度原理 背散射电子产额随原子序数增大而增多。在进行图像分析时，样品中重元素区域背散射电子数量较多，呈亮区，而轻元素区域则为暗区。 三、背散射电子检测器工作原理 背散射电子检测器的工作原理如图。A和B表示一对半导体硅检测器，将二者收集到的信号进行处理： 二者相加，得到成份像； 二者相减，得到形貌像。 背散射电子像实例 二次电子像 背散射电子像 Mg-1.5%Ca铸态试样 背散射电子像实例 Mg-1.0%Ca-1.0%Si铸态合金背散射电子像 二、 其它信号图像 吸收电子的产额与背散射电子相反，样品的原子序数越小，背散射电