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Area 页次 英文名称 中文名称 PEI 1 Active Area 主动区（工作区） PH 2 ACETONE 丙酮 PH 3 ADI 显影后检查 ET 4 AEI 蚀刻后检查 PT 5 AIR SHOWER 空气洗尘室 PH 6 ALIGNMENT 对准 DF 7 ALLOY/SINTER 熔合 TF 8 AL/SI 铝/硅 靶 TF 9 AL/SI/CU 铝/硅/铜 TF 10 ALUMINUN 铝 TF 11 ANGLE LAPPING 角度研磨 TF 12 ANGSTRON 埃 TF 13 APCVD（ATMOSPRESSURE） 常压化学气相沉积 DF 14 AS75 砷 ET 15 ASHING，STRIPPING 电浆光阻去除 PEI 16 ASSEMBLY 晶粒封装 PEI 17 BACK GRINDING 晶背研磨 PH 18 BAKE, SOFT BAKE, HARD BAKE 烘烤，软烤，硬烤 DF 19 BF2 二氟化硼 DF 20 BOAT 晶舟 ET 21 B.O.E 二氧化硅蚀刻液 PEI 22 BONDING PAD 焊垫 DF 23 BORON 硼 TF 24 BPSG 含硼及磷的硅化物 PEI 25 BREAKDOWN VOLTAGE 崩溃电压 PEI 26 BURN IN 预烧试验 PE