原子力显微镜与扫描电镜技术探索.pptVIP

* 4）压电冲击式步进逼近驱动技术 步进可控（nm~?m） 100步/秒 M——主质量块，置于平台上； m——小质量块，（配重）； F1——系统运动时所受阻力。 原理： 压电体所加电压Vt的驱动下，以一定的加速度伸缩，配重对主质量块产生冲击，当冲击力 F1时，则系统被驱动。 t3《 t1 由 加速度a（t）须满足条件 可靠地单向运动，a（t）的波形如图示 浙大光电光学工程所 3 三维扫描技术 （1）压电扫描器 1）三角形架 图：三根棱柱相互正交结合，响应可达1.5/V。 Z方向移动，带动X、Y方向的运动，有交叉误差。 2）四象限扫描器 结构简单、刚度好，同样也有交叉误差 3）压电柔性铰链工作台 浙大光电光学工程所 3 三维扫描技术 （1）压电扫描器 1）三角形架 图：三根棱柱相互正交结合，响应可达1.5nm/V。 Z方向移动，带动X、Y方向的运动，有交叉误差。 2）四象限扫描器 结构简单、刚度好，同样也有交叉误差 Vt 微探针 三维PZT（扫描） It 三维移动：利用管状外电极分四象限。可扫描出表面的原子的三维立体图形。 X－；X＋， X方向扫描，向X方向弯曲 Y－；Y＋， Y方向扫描 Z；X－，Y－ ， 作Z向扫描 X、Y方向主要控制进行网格扫描， Z方向扫描使针尖与原子保持恒定力，勾