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漏率单位 泄漏的计算 710设计理念 HELIOT710参数概要 组成 HELIOT 各系排气能力 　 测试画面 多国语言 分析管?Ｈｅ検出原理 排气图 复合分子泵和逆扩散 DC-AMP输出 感度校正 实际漏率计算 保养项目 离子源的检查方法 校正漏孔 校正漏孔 国内售后服务点 Ultimate in Vacuum since 1952 ULVAC (SHANGHAI)CO.,LTD HELIOT介绍 --------ULVAC(SHANGHAI) Co.Ltd 流量単位 Ｐａ?ｍ３／ｓ 由于气体的体积和压力相关，体积乘以绝对压力 有压力变化的场合，用最初和最后的压力平均 单位时间内变化的气体体积 「帕斯卡.立方米/秒」 1 Pa?m3/s = 10 mbar?l/s = 7.5 Torr?l/s 其他单位的换算 ＝ 泄率的检查值标准（一般用*.*E-* Pa?m3/sec 表示） 原子能?宇宙 真空配管?部品 空調?汽车部品 配管 用途举例 E-12 E-10 E-6 E-4 泄漏率 (Pa?m3/sec) 适用于检漏模式 大漏模式 中漏模式 微漏模式 超微漏模式 ■Pa?m3/sec的意义 1L的容器，真空度从1Pa上升到0.2大气压需要多少时间？ Q (Pa?m3/sec) = P?V/T  ↓T=P?V/Q (sec) 真空 0.2気圧 ?P：容器内压力的变化?V：体积1L?Q：漏率?T：時間 ?P：△0.2気圧=0.2×101300(Pa)=20260(Pa)?V：1L=0.001m3?Q任意代入 6年5ヶ月 1E-7 233日 1E-6 23日 1E-5 639年 1E-9 64年 1E-8 63927年 1E-11 6393年 1E-10 56hr 1E-4 時間 Q(Pa?m3/sec) (1大气压=101300Pa） 由销售的第一代检漏仪HELIOT300演变而来的。300系列采用了专利排气系统，是最初的全自动检漏仪，并赢得了日本杰出设计大奖，改变了以往的检漏仪的概念。2003年开始生产的700系列也是以全自动，简单操作作为主流的检漏仪，主要以重视人性化操作，高性能的检漏仪为目标而开发的。 新710系列，扩张了检漏仪的基本使用概念，针对不同客户的需要，提供了PLUS ONE方案。 Ｈｅ/Ｈ２ 使用简易的追求◆操作◆维护◆系统升级◆运用管理◆整合 环境 费用降低 信赖性 約80kg 約50kg 約81kg 480×380×1010mm 480×335×600mm 480×380×1010mm 涡轮泵 250L/min 涡轮泵 90L/min 油旋片泵 135L/min 小型干泵 20L/min 油旋片泵 30L/min 前级泵 480×335×505mm 480×335×505mm 尺寸 約39kg 約43kg 重量 0.1E-10 Pa?m3/sec 0.1E-12 Pa?m3/sec 真空法感度(He) － He 714W2 714D2 711W1 0.1E-8 Pa?m3/sec 真空法感度(H2) He/H2 检出气体 701D1 714D3 型号 1.0E-2 Pa?m3/sec 1.0E-3 Pa?m3/sec 最大可检漏量 He 检出气体 有 无 辅助泵 0.1E-6 Pa?m3/sec 0.1E-8 Pa?m3/sec 最小可检漏量 B型 A型 型号 吸枪 NW25 测试口 设定点3点 / 漏率模拟输出(DC0-10V) / 印刷输出 / RS232C / 约20点的外部信号接点 输入输出 复合分子泵　25L/sec 主泵 磁場９０度偏向型質量分析管 分析管 选配 ?手柄控制器?各种校正漏孔?打印机?PC通信软件?油雾过滤器?试验腔体?Bombing tank ?运送用专用箱?L型手动阀门?各种变换配管 World wide 组成 ?对应海外插头，规格?不同电压2种型号（W1以外） 安全性 ?ＣＥ?ＩＰ３０ 泵的组成 ?油旋片泵　30L/min?油旋片泵　135L/min?小型干泵　20L/min?干式涡旋泵　90L/ｍｉn?干式涡旋泵　250L/min 吸枪组成 ?高感度型号（AS）?大流量型号×三种　（ＢＳ，ＢＦ，ＢＴ） D型优点： 无油，适合无尘室，不需要换油。 W型优点： B.G稳定，性价比高。 ①排气系统 ②曲线表示 ③仪表 ④数值 ◆从四种画面中选择喜欢的界面 ?在进行检测过程中可以通过触摸图标部分来切换 ?英文?日文?韩文?德文?中文（简体/繁体） ?各种语言搭载语音提示?可以从开机画面上选择切