光电检测技术3重点.ppt

一般PSD分为两类：一维PSD和二维PSD。 一维PSD主要用来测量光点在一维方向的位置， 二维PSD用来测定光点在平面上的坐标(x, y)， （1）一维PSD 一维PSD感光面大多做成细长矩形。 b.光电位置传感器(PSD)的分类 入射光点位于A点的坐标位置： ①和②为信号电极，③为公共电极 A 1.两面分离型PSD 两面分离型PSD的两个面都是均匀电阻层，两对互相垂直的电极分别位于上下两个表面上。 （2）二维PSD 二维PSD的感光面是方形的,比一维PSD多一对电极按其电极位置可分为三种形式 2.表面分离型PSD 表面分离型PSD的相互垂直的两对电极在同一个表面上，光电流在同一电阻层内分成四部份，即Ix、Ix′、Iy、Iy′，并作为位移信号输出。它具有施加偏压容易，暗电流小和响应速度快等优点 3.改进表面分离型PSD 改进表面分离型PSD是对表面分离型的光敏面和电极进行了改进而做出的。优点是，暗电流小、响应时间快、易于加反偏压、位置检测误差小。 c.PSD转换放大电路 2.电流-电压转换电路原理图 V1 100kΩ Rf (1MΩ) 10pF A1（CA3140） 受光面 Rf(1MΩ) 100kΩ 10pF +10V A2（CA3140） V2 +10V