1-7.2现代测试与技术技术总结.pptx

现代测试技术 绪 论 中南大学物理与电子学院 先进材料超微结构与超快过程研究所 2015-4-14 主 讲：周聪华 Company Logo 内容提要 一、概述 常见物质世界属性 现代测试技术主要关心什么 二、内容提纲 第一部分 材料晶体结构 第二部分 材料表面形貌显微结构 第三部分 电子结构 第四部分 官能团价键结构 第五部分 材料、器件光电性能 三、课程安排与组织 理论部分 实验观摩 分组与考查 Company Logo 一、概述 物质世界基本属性 宏观属性 照度计 阿伏伽德罗 Company Logo 一、概述 现代测试技术主要关心什么? 观察、加工尺度越来越小 Company Logo 一、概述 现代测试技术主要关心什么? Company Logo 一、概述 现代测试与分析技术主要关心什么 Company Logo 二、内容提纲 第一部分 晶体结构分析 晶体是指物质内部的质点(原子、离子、分子团)按照一定的重复规律在三维空间有序排列而组成空间格子构造的固体物质。晶体通常具有规则的多面体外形。 晶 体 Company Logo 二、内容提纲 第一部分 晶体结构分析 技术1 X-射线衍射 将晶体视为光栅，X射线经过光栅发生衍射行为 Δ= 2d Sinθ= nλ n = 1，2，3… 布拉格公式 n =1 一级反射 n =2 二级反射 Company Logo 二、内容提纲 第一部分 晶体结构分析 1, X-射线基础知识 2, 晶体结构基础知识 3, X-射线与晶体作用 4, X-射线粉晶衍射仪结构 5, X-射线衍射应用 技术1 X-射线衍射 Company Logo 二、内容提纲 第一部分 晶体结构分析 技术2 选区电子束衍射 (Selected Area Electron Diffraction) TiO2孪晶形貌与电子衍射图象 Company Logo 二、内容提纲 第一部分 晶体结构分析 技术2 选区电子束衍射 (Selected Area Electron Diffraction) 1, 电子波动性 2, 晶体结构基础知识 3, 透射电子显微镜暗场成像特点 4, SAED应用 Company Logo 二、内容提纲 第二部分 表面形貌分析 列文虎克 植物细胞显微照片 光学显微镜 Company Logo 局限性！ 二、内容提纲 第二部分 表面形貌分析 当用可见光作光源，采用组合透镜、大的孔径角、高折射率介质浸没物镜时， N. A值可提高到 1.6。最佳情况的透镜分辨极限是 200nm。 阿贝根据衍射理论 光学显微镜的分辨本领 Company Logo 二、内容提纲 第二部分 表面形貌分析 如何提高显微镜的分辨本领？ X射线波长很短，在 0.05~ 10nm 范围，但难以聚焦。 Company Logo 二、内容提纲 第二部分 表面形貌分析 技术1 电子显微镜 电子束物质波，替代光波作为探测媒介，以获得高分辨率 2, 扫描电子显微镜 1, 透射电子显微镜 二维形貌（照片） Company Logo 二、内容提纲 第二部分 表面形貌分析 3, 扫描电子显微镜结构与工作原理 2, 透射电子显微镜结构与工作原理 1, 电子与物质相互作用 技术1 电子显微镜 4, 样品要求与制备 Company Logo 二、内容提纲 第二部分 表面形貌分析 技术2 扫描探针显微镜 -- 原子力显微镜 三维形貌 铂/钛双层金属薄膜表面形貌图对比： 左：电子显微镜图(SEM) 右：扫描探针显微镜(AFM) Company Logo 二、内容提纲 第二部分 表面形貌分析 氢化SiC表面外延生长1层、2层、3层石墨烯STM图像 技术2 扫描探针显微镜 -- 扫描隧道显微镜 表面原子成像 Company Logo 二、内容提纲 第二部分 表面形貌分析 技术2 扫描探针显微镜 1, 原子力显微镜工作原理 2, 扫描隧道显微镜工作原理 3, 样品要求与制备 Company Logo 二、内容提纲 第三部分 电子结构 光电子能谱仪 一定能量X射线或紫外光作用样品，把样品表面原子中不同能级的电子激发成自由电子，研究这些自由电子的能量分布就是光电子能谱分析。 光电子能谱又分为 1，X光电子能谱 (XPS,X-ray Power Spectroscopy) 2，紫外光电子能谱 (UPS, Ultraviolet Power Spectroscopy) 光电效应