2XZ-B型真空泵保养规程(标准格式).docVIP

1目的 规范直拉单晶炉配套的真空辅泵的使用，避免使用及操作不当造成对真空泵的损坏及拉晶过程中造成不必要的损失，保障设备处于良好的工作状态。 2适用范围 单晶生产所用的直拉单晶炉配套的真空辅泵（2XZ-B型直联旋片式真空泵）。 3程序要点 3.1使用环境 ; 3.1.1设备应在干燥，通风和清洁的场所，环境温度应保持在5-40℃的范围内； 3.1.2该型泵进气口压强为1.33KPa的条件下，允许长期连续运转，被抽气体相对温度大于90或被抽容器含有较多水蒸气和水分时，应打开气镇阀。 3.1.3连接被抽容器的管道直径不应小于泵进气口径，应短和弯头少，以减少13Pa以下的抽速损失，同时注意管道的泄漏。 3.2 保养维护步骤： 3.1.1 保养前准备： 1 .保持泵的清洁，防止杂物进入泵腔内； 2 .保持油位在油位窗口的2/3位置左右； 3 .换油时先开泵运转10分钟，使油变稀，停泵，从放油孔放油，再敞开进气口运转1-气口缓慢加入l清洁油， 以更泵权利的存油。 3.1.2拆卸步骤 1 .放油 2 .松开进气法兰螺钉,拔出进气嘴 3 .拆下油箱 4 .拔出气镇连接软管 5 .拆下防护盖,松开泵联轴器紧固螺丝 6 .拆除支座与泵的连接螺丝，拆下泵部装件，电机拆否视方便而定 7 .拆除挡油板及高低级排气阀座，气道压盖拆否视情况而定 8 .松开油泵压盖螺丝，拆下油泵泵盖，泵壳及油泵内外转子 9 .松开低级端盖螺丝，拆下低级端盖，拉出低级转子及旋片 10 .松开高级端盖螺丝，拆下高级端盖，拉出高级转子及旋片 3.1.3安装步骤 1 .检查油泵进油嘴是否堵死 2 .用纱布擦净零件，防止回丝堵塞进油孔 3 .把高级旋片装入高级转子槽内后，再把高级转子装入定子，要求定子倒装在平台上 ，装入高级泵盖，销，螺钉,键.用泵联轴节手盘旋转，应无滞阻和明显轻重。低级旋片，转子装配方法同上。 4 .装在低级转子上的键，然后装上油泵内外转子，油泵泵壳、止回阀弹簧、钢球，再装上油泵压盖,销，螺丝，轴节手盘旋转应无滞阻和明显轻重 5 .装上进油嘴，溢流阀阀片、压板。 6 .装上泵部件的排气阀、油盒、挡油板等零件。 7 .把泵部件、键、联轴节、电机装在支架上 8 .装上气镇连接软管，与低级端盖上气镇接头连接 9 .装上油箱，观察油箱垫片下部是否与支架紧贴 10 .插入进气嘴，法兰固定。 3.1.4其他项目： 1装配时摩擦面应涂上清洁真空泵油 2记住零件原装配位置，可减少跑合时间 3紧固件应无松动 4磨损零件应检查并酌情修整或调整 5装配后应观察运转情况用在泵口测量极限真空，不合要求时应加以调整 6在检修泵同时，亦对系统管道，阀门和电动机等加以清理检修。 参考文件：无 质量记录：记录表 4.注意事项 无。 5.修改履历 无。 2XZ-B型直联旋片式真空泵保养规程 包头山晟新能源有限责任公司 受控状态 实施日期 2009.12.23 适用 山晟新能源单晶分厂 受控 实施责任者 单晶设备主管 注：本文件的更改，由建议者提出申请，经批准后方可变更。 作成 审核 批准 承认 变更内容： 李国祥 李 军 陆 荣 文件编号 版/次 总2页 SS/QW02SI63001-02 A/0 第1页 文件编写基本规定 上海申和热磁电子有限公司 受控状态 实施日期 2002年09月10 日 适用 质量、环境类文件 受控 实施责任者 管理者代表 注：本文件的更改，应由建议者提出申请，经批准后方可变更。 作成 审核 批准 承认 变更内容： 何锋 文件编号 版/次 总3页 S/QW座机电话号码1-02 A/0 第1页