炉故障处理.docVIP

断电：UPS供电 通知配电房、上级领导和其他相关人员， 短时间断电，温度降至允许范围内，记录掉电前的温度，功率，来电后切换功率模式，功率设定高于原来10%左右，待温度升上来后转成温度模式， （在长晶阶段，由于温度将的过快，最好把隔热笼降下来，等来电，建议不适宜全闭合） UPS不供电 检查线路，通知相关人员，关闭压缩空气，来电后重新自动运行，绕过抽真空检漏，如果温度超过1175，会自动跳M1，暂停进入跳步，温度转换功率模式，增加功率至大于原来的10%左右，长晶时注意顶部结晶， 断水：车间整水路断水，必须立刻开启备用自来水并通知相关人员（断水最危险，备用水流量低，但足可以保护设备），待来水后进行切换成循环水 单台支路断水，一般叶轮堵住了，将主参数设0，立即清洗涡轮，注意将进出水关闭，短时，如果时间过长，稍微打开进出水让温度较高的水流出来，再进行安装 如果支路仍然断水，有水流量但是没有信号反馈，经运通参数直接设为零即可以，待运行结束再处理，GT, 精工，直接利用模块其它信号，并接相邻信号，使其反馈与其同样的信号。或者直接更换模块 硅液溢流： 首先复位，测试溢流线值并且观察液面及功率曲线变化，测试阻值 无穷大，或者被熔断但是仍被硅液连接，但是阻值肯定会变大，则可以判断确定硅液溢流（GT,JJL，可以依据出水温度做参考，） 还有种可能，阻值偏小，甚至1以下，这时应该被短路了，可以确定没有熔断，重新自动运行 注意：长晶阶段确认不溢流降低隔热笼加热，建议不要完全闭合， UPS 故障： 首先看下UPS输入，输出端指示灯是否亮，或者用万用表量输入，输出端电压，确认没有电压输出，立刻短接UPS：精工05222-05223；05001-05002 京运通的接：15-17；16-18 GT 01030-01130;01050-01150 来电后按照以上断电方法处理 3.控制器或更换控制器正常后，对炉子重新启动前应把该炉子的压缩空气关闭。使其无法打开V1阀抽真空，消除安全隐患。 4.控制器为节省时间，不需要拆下红屏故障的控制器，直接将线拔下插入新控制器中即可。 5.操作都应对软件重启判断是否能连接上控制器。 短路: 电流偏大，主要出现在融化阶段，可能是CC盖板受热变形与顶加热器接触而短路，处理方法 降低原来功率，或断电，如果仍然还是这样情况，建议断开停炉了 打火： 电流明显偏小，主要出现再加热阶段，注意看电源柜上面的电流，一般低于3000就得注意了 功率曲线波动： 应急处理：将PID值P调小，暂停5-8分钟，功率模式控制，如果效果不是很明显，出炉后跟换氧化铝管，检查铂铑丝上是否有损伤或者异物，以及双芯管铂铑丝及氧化铝管的位置是否正确，及时处理 TC失效： 京运通TC1显示1800失效后温度显示高于1575会引发最大温度紧急报警，此时若不立即处理120秒后DSS炉会自动切断电源。我们可以在这120秒内立即拔除TC1热电偶或立即引用功率曲线运行DSS炉就会停止倒计时 炉子运行过程中，产生最大功率报警的应急处理办法 炉子点击暂停，或者进入模式界面将温度控制模式改功率控制模式，将功率值降低，当温度上升到接近设定值时将功率模式转换温度控制模式继续运行。 如果温度上不去，功率一直偏大，点击急停，进入急冷，防止加热板长时间过热烧坏。 出炉后用砂纸打磨烧黑加热板，把氧化层打磨掉，再用酒精擦洗重新安装加热器 运行过程中泄露，压力很难上去，偏差报警 插板阀没关死， 插板阀密封圈有划痕，不能够密封 抽真空检漏很难通过 建议检查防爆阀和溢流线，TC管 抽真空开始压力粗值不变 建议查看上下腔室是否合紧 真空检漏通过，但是硅锭表面仍然氧化严重 1.TC管漏气 2.腔室或者电极可能有漏水现象（漏水表面成五颜六色） 腔室进水或湿气很大 抽真空至0.1mbar以下，可适当加热，隔热笼不要闭合，设定下腔室压力和进出气流量，以更好的带走蒸发出来的水分， 热场检查阻值偏小： 主要看陶瓷垫片、套筒、吊装陶瓷座，使用吸尘器将连接处碳粉吸干净即可 冷却阶段TC管泄漏 多半是由于电磁阀密封圈不密封 注意泵组 气镇阀旋紧后返半圈，目的将腔室的中排出来的油经过气镇阀返回油箱，同时还可以释放部分气压以防止气经过压缩凝结成水 排气阀压力表，越小越好，过大说明堵住了 以及油位和异响 硅锭表面氧化 首先确定检漏通过，一般可能会出现氧化铝管可能漏气，或者电极渗水 碳氧含量 氧 20ppma 碳 17ppma 京运通炉机械泵异响 检查泵组发现电磁阀不吸合，发现供电磁阀线圈的220伏电没有，在接线盒里一个熔断丝断开，导致后果形成 长晶阶段隔热笼不提升 手动激活，驱动器故障需重新启动其工作电源，内置抱闸没有通电吸合，继电器坏了或者线接需了， 运行过程中机械泵故障 手动关闭进出气阀门保压，接软管至隔壁一台机械泵